Sensorowe właściwości cienkich warstw SnO₂ wytwarzanych rozpylaniem magnetronowym

• Autorzy: Luhin V. , Zarapin V. , Zharsky I. , Zhukowski P.

Warianty tytułu

EN

Sensor properties of tin dioxide thin films produced by magnetron sputtering

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Badano strukturę, skład fazowy, morfologię powierzchni i skład chemiczny warstw SnO₂ wytworzonych rozpylaniem magnetronowym Sn z następnym utlenianiem przy temperaturze 500°C. Zbadano oddziaływanie CO i NO₂ na nie domieszkowane oraz domieszkowane Pd warstwy sensorowe SnO₂. Otrzymane rezultaty mogą być wykorzystywane przy budowie czułych i selektywnych sensorów do detekcji gazowych mieszanek, zawierających NO₂ i CO.

EN

Structure, phase structure, morphology of a surface and chemical structure of SnO₂ based films are investigated by methods of electron diffraction patterns, TEM, SEM, AES, SIMS. Sensor property of SnO₂ and Pd-doped SnO₂ films in relation to CO and NO₂ are investigated. The received results can be used in creation of high-sensitivity and selective sensors for detecting gas mixtures containing N0₂ and CO.

Słowa kluczowe

PL

czujniki gazów; cienkie warstwy; dwutlenek cyny

EN

gas sensor; thin films; tin dioxide

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 76--78
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., wykr.

Twórcy

autor

Luhin V.

autor

Zarapin V.

autor

Zharsky I.

autor

Zhukowski P.

• Białoruski Państwowy Uniwersytet Technologiczny, Mińsk, Białoruś

Bibliografia

• [1] Zarapin V. G., Ługin V. G., Bereznackij A. V., Zarskij I. M.: Issledovannije processov termiceskovo okislenija tonkih ołovjannyh plenok, Vesci Nacyjanalnaj Akademii Navuk Bełarusi, Seryja himicnyh navuk, 1999, No 3, p. 15-20.
• [2] Luhin V., Zarapin V., Zharsky I., Kozak C.: Application of thin films based on SnO2 for creation of semiconductor microelectronic gas analyzers of sensor type, Proceedings ot the 6th International Conference „New Electrical and Electronic Technologies and Their Industrial Implementation” (NEET-2009), June 23-26, 2009, Zakopane, Poland, p. 145.