Dwuetapowe formowanie dwukrzemianu tytanu

• Autorzy: Żukowski P. , Karwat C. , Kozak C. , Kolos V. V. , Markevich M. I. , Stelmakh V. F. , Chaplanov A. M.

Warianty tytułu

EN

Two-stage formation of titanium disilicate

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Niniejszy artykuł poświęcony jest formowaniu dwukrzemianu tytanu w układzie TiN/Ti/Si przy szybkiej obróbce termicznej (SOT) w dwóch etapach. Wyniki badań pokazują, że szybka obróbka termiczna w dwóch etapach (pierwszy etap - przy temperaturze 650° C, drugi - przy 850°C) pozwala uformować warstwę niskoomowego dwukrzemianu tytanu o modyfikacji C54. Ochronna warstwa azotku tytanu podczas SOT prowadzi do bardziej jednorodnego formowania się rozmiarów ziaren w układzie TiN/Ti/Si.

EN

The work is devoted to investiqation of formation phase TiSi₂ in the TiN/Ti/Si system during a two-stage rapid heat treatment (RHT). The investigation results indicate that RHT involving two stages the first of which is carried out at the temperature of 650°C and the second at 850°C enables formation of a low-resistance titanium disilicide layer of C54 modification. Protective nitride layer during the RHT leads toa more uniform formation of grain sizes in the TiN/Ti/Si structure.

Słowa kluczowe

PL

dwukrzemian tytanu; mikrominiaturyzacja; szybka obróbka termiczna; magnetronowe rozpylanie; płytka krzemowa

EN

titanium disilicate; micronization; rapid heat treatment (RHT); magnetron sputtering; silicon plate

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 74--75
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys.

Twórcy

autor

Żukowski P.

autor

Karwat C.

autor

Kozak C.

autor

Kolos V. V.

autor

Markevich M. I.

autor

Stelmakh V. F.

autor

Chaplanov A. M.

• Politechnika Lubelska, Lublin, Polska

Bibliografia

• [1] Pilipenko V. A.: Bystryje termoobrabotki w technologii SBIS. Minsk, Izd. Centr. BGU 2004, 531 c.
• [2] Niess J., Paul S., Buschbaum S. et al.: Mainstream rapid thermal processing for source-drain engineering from first applications to latest results. Materials Science and Engineering B. 2004, V. 114-115, P. 141-150.