Tytuł artykułu
Identyfikatory
Warianty tytułu
Two-stage formation of titanium disilicate
Języki publikacji
Abstrakty
Niniejszy artykuł poświęcony jest formowaniu dwukrzemianu tytanu w układzie TiN/Ti/Si przy szybkiej obróbce termicznej (SOT) w dwóch etapach. Wyniki badań pokazują, że szybka obróbka termiczna w dwóch etapach (pierwszy etap - przy temperaturze 650° C, drugi - przy 850°C) pozwala uformować warstwę niskoomowego dwukrzemianu tytanu o modyfikacji C54. Ochronna warstwa azotku tytanu podczas SOT prowadzi do bardziej jednorodnego formowania się rozmiarów ziaren w układzie TiN/Ti/Si.
The work is devoted to investiqation of formation phase TiSi₂ in the TiN/Ti/Si system during a two-stage rapid heat treatment (RHT). The investigation results indicate that RHT involving two stages the first of which is carried out at the temperature of 650°C and the second at 850°C enables formation of a low-resistance titanium disilicide layer of C54 modification. Protective nitride layer during the RHT leads toa more uniform formation of grain sizes in the TiN/Ti/Si structure.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
74--75
Opis fizyczny
Bibliogr. 2 poz., rys.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
- Politechnika Lubelska, Lublin, Polska
Bibliografia
- [1] Pilipenko V. A.: Bystryje termoobrabotki w technologii SBIS. Minsk, Izd. Centr. BGU 2004, 531 c.
- [2] Niess J., Paul S., Buschbaum S. et al.: Mainstream rapid thermal processing for source-drain engineering from first applications to latest results. Materials Science and Engineering B. 2004, V. 114-115, P. 141-150.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAN-0013-0024