Detekcja elektronów wtórnych przez przesłonę dławiącą w SEM o zmiennym ciśnieniu

• Autorzy: Słówko W. , Krysztof M. , Jeziorski Ł.

Warianty tytułu

EN

Detection of secondary electrons throgh the throttling aperture in a variable pressure SEM

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono układ detekcyjny zintegrowany z komorą pośrednią systemu pompowania różnicowego, którego działanie opiera się na transporcie elektronów wtórnych przez przesłonę dławiącą do komory pośredniej, gdzie dokonuje się konwersja sygnału elektronowego na świetlny, z wykorzystaniem scyntylatora. Układ detekcyjny stanowi rodzaj soczewki katodowej dla elektronów wtórnych i soczewki pojedynczej dla wiązki pierwotnej. Zostal skonstruowany w formie dodatkowego wyposażenia, które może być zamontowane do klasycznego wysokopróżniowego skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM), umożliwiając rozszerzenie zakresu jego pracy w kierunku podwyższonych ciśnień powietrza oraz pary wodnej, przekraczających 10 hPa.

EN

Authors presented the detection system integrated with an intermediate chamber of the differential pumping system which was based on the transportation of secondary electrons through the throttling aperture to the intermediate chamber where the conversion of the electron signal into the light one is performed with use of the scintillator. The detector system creates a kind of the cathode lens for secondary electrons and an unipotentiallens for the primary beam. The system was designed in a form of the additional equipment which can be mounted to the elassic high vacuum SEM enabling its work both in high vacuum and elevated pressures of air or water vapour exceeding 10 hPa.

Słowa kluczowe

PL

VP/E SEM; detekcja elektronów wtórnych

EN

VP/E SEM; secondary electron detection

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 55--57
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., il.

Twórcy

autor

Słówko W.

autor

Krysztof M.

autor

Jeziorski Ł.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Danilatos G.: Foundations of ESEM. Advances in Electronics and Electron Physics vol. 71, (1988) 109-250.
• [2] Phillips M., Morgan S.: Direct Comparison of Various Gaseous Secondary Electron Detectors in the Variable Pressure Scanning Electron Microscope, Microscopy and Microanalysis 11 (2005), 398-9.
• [3] Autrata R., Jirak J.: Scanning electron microscopy at low vacuum in specimen chamber. Proc. EUREM12, Brno, (2000) 1211-1216.
• [4] Morgan S., Phillips M.: Gaseous scintillation detection and amplification in variable pressure scanning electron microscopy, Journal of Applied Physics 100 (2006), 074910-1-16.
• [5] Thiel B., Toth M.: Secondary electron contrast in low-vacuum/environmental scanning electron microscopy of dielectrics. Journal of Applied Physics 97, (2005) 051101.
• [6] Słówko W., Krysztof M.: Electron detection in the intermediate chamber of the Variable Pressure SEM, Journal of Microscopy vol. 237/3, (2010), pp. 292-29.
• [7] Słówko W., Prasoł H.: Micro-sphere plate as an electron detector at low vacuum. Vacuum 67, (2002) 191-198.