Wyznaczanie rozkładów głębokościowych domieszek metodą PIPE

• Autorzy: Pyszniak K. , Gluba Ł. , Turek M. , Droździel A. , Filiks J. , Wójtowicz A. , Żuk J. , Mączka D.

Warianty tytułu

EN

Determination of dopant depth profiles using PIPE method

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Omówiono zastosowanie metody PIPE (Particie Induced Photon Emission) do wyznaczania rozkładów głębokościowych domieszek. Omawiana metoda pozwala również na dość dokładne wyznaczanie współczynników rozpylania... Artykuł zawiera opis stosowanej aparatury, krótkie omówienie procedury pomiarowej, oraz porównanie otrzymanych wyników z symulacjami komputerowymi.

EN

The application of PIPE (Particle Induced Photon Emission) method for dopant depth profiling is described. The method gives also a possibility to determine sputtering yields for targets. The paper contains the description of an experimental setup and the applied method, as well as the comparison of the obtained results with computer simulations.

Słowa kluczowe

PL

rozkłady głębokościowe domieszek; PIPE; rozpylanie jonowe

EN

PIPE; depth profiling; ion sputtering

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 50--52
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., wykr.

Twórcy

autor

Pyszniak K.

autor

Gluba Ł.

autor

Turek M.

autor

Droździel A.

autor

Filiks J.

autor

Wójtowicz A.

autor

Żuk J.

autor

Mączka D.

• Uniwersytet Marii Curie Skłodowskiej w Lublinie, Instytut Fizyki

Bibliografia

• [1] McHugh J. A.: Radiat. Effects 21 (1974) 209.
• [2] Chu W.-K. i in: Backscattering Spectrometry. Academic Press, New York 1978.
• [3] Pantano C. G. i in.: Appl. Phys. Lett. 26 (1975) 601.
• [4] Carter C. i in.: Radiat Effects 16 (1972) 107.
• [5] Kelly R.: Nucl. Instr. Meth. 194 (1982) 583.
• [6] Turek M., S. Prucnal, A. Droździel, K. Pyszniak: Rev. Sci. Instr. 80 (2009) 043304.