Formation of molecular ion beams for ion implantation purposes

• Autorzy: Kiszczak K. , Turek M. , Mączka D. , Słowiński B. , Zubrzycki J.

Warianty tytułu

PL

Wytwarzanie wiązek jonów molekularnych dla potrzeb implantacji jonowej

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

A phenomenological model describing the generation of molecular ions in a plasma ion source is proposed. An analysis of experimental data within the framework of the proposed model is carried out.

PL

W artykule omówiony jest fenomenologiczny model opisujący powstawanie jonów molekularnych w plazmowym źródle jonów. Przedstawiono także analizę danych eksperymentalnych w ramach zaprezentowanego modelu.

Słowa kluczowe

EN

ion implantation; ion sources; molecular ions

PL

implantacja jonowa; źródła jonów; jony molekularne

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 22--25
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Kiszczak K.

autor

Turek M.

autor

Mączka D.

autor

Słowiński B.

autor

Zubrzycki J.

• Institute of Physics, Maria Curie-Skłodowska University, Lublin, Poland

Bibliografia

• [1] Mączka D., Latuszynski A., Kuduk R., Partyka J.: Nucl. Instr. Meth. B. 1987. V.21. P.512.
• [2] Kalinnikov V. G., Gromov K. Ya. et al.: Nucl. Inst. Meth. B. 1992. V.70. R 62.
• [3] Aфaнacьev B. П. и дp.: Пpибopы и тeхникa экcпepимeнтa.1972. T. 1 C. 45
• [4] Aфaнacьev B. П. и дp.: Cooбщeниe OИЯИ, 13-4763. Dubna, 1969.
• [5] Żuk W., Mączka D., Pomorski J.: Nucl. Instr. Meth. 1965. V 37. P. 249.
• [6] Drozdziel A., Latuszynski A., Mączka D. et al.: Nucl. Instr. Meth. B 1997. V. 126. P. 58.
• [7] Bohm D.: The characteristics of electrical discharges in magnetic fields, A. Guthrie and R. K. Wakerling, New York, 1949.
• [8] Mączka D., Latuszynski A. et al.: JINR Comm. E13-2006-146. Dubna. 2006.
• [9] Mączka D., Kiszczak K., Droździel A., Pyszniak K.: Vacuum 58 (2000), 536.
• [10] Кoрнaжинcки К., Кищaк К., и дp.: Cooбщeниe OИЯИ 13-88-621. Дубнa, 1988.
• [11] Turek M., Pyszniak K. et al.: Przegląd Elektrotechniczny 86 (7), 193, 2010.
• [12] Turek M., Prucnal S., Droździel A., and Pyszniak K.: Rev. Sci. Instrum. 80, 043304 (2009).