Wpływ parametrów procesu na formowanie powłok z fazy S otrzymanych metodą PVD

• Autorzy: Fryska S. , Baranowska J. , Suszko T.

Warianty tytułu

EN

Influence of deposition parameters on the formation of S phase coatings obtained by PVD method

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Metodą PVD możliwe jest otrzymywanie w obniżonej temperaturze (< 500°C) powłok zbudowanych z fazy S. W prezentowanej pracy zbadano wpływ parametrów procesu reaktywnego napylania oraz rodzaju materiału podłoża na formowanie powłok z fazy S. Budowę fazową powłok określono przy pomocy dyfrakcji rentgenowskiej (XRD). Rozkład pierwiastków na przekroju powłoki oraz zawartość azotu określono odpowiednio na podstawie analizy GD OES i WDS. Przeprowadzone badania potwierdziły wpływ parametrów i rodzaju materiału podłoża na budowę fazową i chemiczną powłok. Ponadto przy osadzaniu powłok na stali zaobserwowano zachodzenie procesów dyfuzyjnych pomiędzy powłoką i podłożem nawet w temperaturze 250°C.

EN

The paper presents the results of investigations on the influence of deposition parameters on the formation of S-phase coatings by PVD method on various substrates. Phase composition was studied by means of X-ray diffraction (XRD). The distribution of elements in the coating and nitrogen content were determined by GD OES and WDS analysis respectively. Study confirmed the influence of parameters and different substrate materials on the formation of S-phase coatings. Moreover, it was observed that in case of the coatings deposited on stainless steel the diffusion process between coating and substrate was possible even at 250°C.

Słowa kluczowe

PL

faza S; metoda PVD; stal austenityczna

EN

S-phase; PVD method; austenitic stainless steel

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 11
• Strony: 14--16
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Fryska S.

autor

Baranowska J.

autor

Suszko T.

• Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny w Szczecinie, Instytut Inżynierii Materiałowej

Bibliografia

• [1] Ichii K., Fujimura K., Takase T.: Structure of the lon-nitrided layer of 18-8 stainless steel. Tech. Rep. Kansai. Univ., 27, 1986, 135.
• [2] Baranowska J.: Niskotemperaturowe azotowanie stali austenitycznej. Prace Naukowe Politechniki Szczecińskiej, 596, Szczecin 2007.
• [3] Larisch B., Brusky U., Spies H-J.: Plasma nitriding of stainless steel at low temperature. Surface and Coatings Technology, 116-119, 1999, 205.
• [4] Li X. Y.: Low temperature plasma nitriding of 316 stainless steel - nature of S phase and its thermal stability. Surf. Eng., 17, 2001, 2, 147.
• [5] Baranowska J., Fryska S., Przekop J., Suszko T.: Charakterystyka powłok z fazy S otrzymanych na drodze reaktywnego rozpylania magnetronowego; Elektronika, 9, 2009, 19.
• [6] Dahm K. L., Dearnley P. A.: S phase coatings produced by unbalanced magnetron sputtering. Surface Engineering, 12, 1996, 1, 61.
• [7] Terwagne G., Colaux J., Mitchell D. R., Short K. T.: Temperature effect of nitrided stainless steel coatings deposited by reactive DC-magnetron sputtering. Thin Solid Films, 469-470, 2004, 167.
• [8] Baranowska J., Fryska S., Przekop J., Suszko T.: The properties of hard coating composed of s-phase obtained by PVD method. Adv. in Manuf. Science and Tech., 33, 2009, 4, 59.