Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
An automated prober for microwave precise measurements of electromagnetic properties of materials at microwave frequencies
Języki publikacji
Abstrakty
W pracy omówiono budowę i zastosowania specjalizowanego probera do pomiarów rezystywności i przenikalności dielektrycznej. Prober pozwala na bezkontaktowe pomiary i mapowanie rezystywności płytek półprzewodnikowych. Zastosowana metoda mikrofalowa umożliwia uzyskanie niskiej niepewności pomiarowej w szerokim zakresie mierzonych rezystywności. Może być używana w pomiarach grafenu oraz półprzewodników różnych rodzajów, z węglikiem krzemu włącznie.
The paper describes design and applications of a specialized prober for measurements of resistivity and dielectric permeability. The prober enables contactless measurements and mapping of semiconductor wafers resistivity. Application of microwave method makes possible to obtain low measurement uncertainty at wide range of measured resistivity. It could be used for measurements of graphene and SiC semiconductors.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
32--34
Opis fizyczny
Bibliogr. 6 poz., wykr., il.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
- Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa
Bibliografia
- [1] http://www.beckhoff.pl/
- [2] Krupka J.: Frequency Domain Complex Permittivity Measurements at Microwave Frequencies. Measurement Science and Technology, vol. 17, R55-R77, 2006.
- [3] Krupka J., Mazierska J.: Contact-less measurements of resistivity of semiconductor wafers employing single-post and split-post dielectric resonator techniques. IEEE Trans.on IM pp. 1839-1844, October 2007.
- [4] Machalica P., J. Zając, W. Mocny, B. Młynarski, J. Wójcik, G. Zaremba, M. Niemiec: System kontroli parametrów elektrofizycznych krzemowych warstw epitaksjalnych i dyfuzyjnych. Elektronika nr 12, 2002, ss. 12-15.
- [5] MODBUS TCP/IP OVERVIEW, http://www.rtaautomation.com/modbustcp/
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAN-0012-0006