Automatyczny prober do precyzyjnych pomiarów właściwości elektromagnetycznych materiałów przy częstotliwościach mikrofalowych

• Autorzy: Karliński M. , Kiełbasiński M. , Wójcik J. , Zając J.

Warianty tytułu

EN

An automated prober for microwave precise measurements of electromagnetic properties of materials at microwave frequencies

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy omówiono budowę i zastosowania specjalizowanego probera do pomiarów rezystywności i przenikalności dielektrycznej. Prober pozwala na bezkontaktowe pomiary i mapowanie rezystywności płytek półprzewodnikowych. Zastosowana metoda mikrofalowa umożliwia uzyskanie niskiej niepewności pomiarowej w szerokim zakresie mierzonych rezystywności. Może być używana w pomiarach grafenu oraz półprzewodników różnych rodzajów, z węglikiem krzemu włącznie.

EN

The paper describes design and applications of a specialized prober for measurements of resistivity and dielectric permeability. The prober enables contactless measurements and mapping of semiconductor wafers resistivity. Application of microwave method makes possible to obtain low measurement uncertainty at wide range of measured resistivity. It could be used for measurements of graphene and SiC semiconductors.

Słowa kluczowe

PL

pomiary mikrofalowe; rezonatory mikrofalowe; rezystywność; sterowniki przemysłowe; pomiary półprzewodników

EN

microwave measurement; microwave resonator; resistivity; industrial controllers; semiconductor measurements

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 7
• Strony: 32--34
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., wykr., il.

Twórcy

autor

Karliński M.

autor

Kiełbasiński M.

autor

Wójcik J.

autor

Zając J.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] http://www.beckhoff.pl/
• [2] Krupka J.: Frequency Domain Complex Permittivity Measurements at Microwave Frequencies. Measurement Science and Technology, vol. 17, R55-R77, 2006.
• [3] Krupka J., Mazierska J.: Contact-less measurements of resistivity of semiconductor wafers employing single-post and split-post dielectric resonator techniques. IEEE Trans.on IM pp. 1839-1844, October 2007.
• [4] Machalica P., J. Zając, W. Mocny, B. Młynarski, J. Wójcik, G. Zaremba, M. Niemiec: System kontroli parametrów elektrofizycznych krzemowych warstw epitaksjalnych i dyfuzyjnych. Elektronika nr 12, 2002, ss. 12-15.
• [5] MODBUS TCP/IP OVERVIEW, http://www.rtaautomation.com/modbustcp/