Mikroinżynieria powierzchni w mikroelektronice próżniowej

• Autorzy: Górecka-Drzazga A.

Warianty tytułu

EN

Surface microengineering in vacuum microelectronics

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono podstawowe informacje na temat dziedziny techniki zwanej mikroelektroniką próżniową. Opisano polowe, miniaturowe źródła elektronów oraz ich zastosowania. Zaprezentowano wybrane wyniki prac nad mikrostrukturyzacją powierzchni krzemu i węglika krzemu z wykorzystaniem technik mikroinżynieryjnych. Przedstawiono właściwości emisyjne katod polowych wykonanych z matryc mikroostrzy krzemowych i mikroostrzy z węglika krzemu. Zbadano wpływ modyfikacji powierzchni matryc ostrzowych nanorurkami węglowymi na ich emisyjność.

EN

In the paper the basic information in field of vacuum microelectronics is presented. Miniature, field-emission electron sources and their applications are described. The selected results of the works on surface structurization of silieon and silieon carbide with the use of the microengineering techniques are shown. Emissive properties of the silieon and silieon carbide field-emission arrays are presented. Influence of the emitter array surface modification by carbon nanotubes has been investigated.

Słowa kluczowe

PL

mikroelektronika próżniowa; polowe źródło elektronów; mikroemiter polowy; matryca emiterów polowych

EN

vacuum microelectronics; field-emission electron source; field microemitter; field-emission array

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 9
• Strony: 49--52
• Opis fizyczny: Bibliogr. 26 poz., rys.

Twórcy

autor

Górecka-Drzazga A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Górecka-Drzazga A.: Mikroelektronika próżniowa. Elektronika 1 (2009) 58-62.
• [2] Górecka-Drzazga A.: Mikro - i nanoemitery polowe. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2008.
• [3] Stephani D., Eibl J., Branston D. W., Bartsch W.: Microfabrication of metal-coated silicon tips and their field emission properties Microelectronic Engineering 13 (1991) 505-508.
• [4] Zorba V., Alexandrou I., Zergioti I., Manousaki A., Ducati C., Neumeister A., Fotakis C., Amaratunga G. A. J.: Laser microstructuring of Si surfaces for low-threshold field-electron emission. Thin Solid Films 453-454 (2004) 492-49.
• [5] Kang W. P., Davidson J. L., Wisitsora-at A., Kerns D. V., Kerns S.: Recent development of diamond microtip field emitter cathodes and devices. J. Vac. Sci. Technol. 193 (2001) 936-941.
• [6] Subramanian K., Kang W. P., Davidson J. L.: Monolithically integrated nanodiamond lateral field emission transistor. Proc. 21st IVNC'2008, 13-17 July 2008, Wrocław, Poland, pp. 35-36.
• [7] Huq S. E., Kent B. J., Stevens R., Lawes R. A., Xu N. S. and She J. C.: Field emitters for space application. J. Vac. Sci. Technol. B 19, 3 (2001) 988-991.
• [8] Milne W. I., Teo K. B. K., Minoux E., Groening O., Gangloff L., Hudanski L., Schnell J. P., Dieumegard D., Peauger F., Bu I. Y. Y., Bell M. S., Legagneux P., Hasko G., Amaratunga G. A. J.: Aligned carbon nanotube/fibers for applications in vacuum microwave amplifiers. J. Vac. Sci. Technol. B 24 (2006) 345-348.
• [9] http://www.oled-display.info/Sony shows FED-Display.
• [10] http://www.oled-display.info/report-on-the-fabrication-of-a-carbon-nanotube-field-emission-backlight-unit-cnt-blu-and-its-applica
• [11] Sarrazin P., Blade D., Delzeit L., Meyyappan M., Boeyr B., Snyder S., Espinosa B.: Carbon-nanotube field emission X-ray tube for space exploration XRD/XRF instrument. Advances in X-ray Analysis 47 (2003) 232-239.
• [12] Choi H. Y., Shon C. W, Kim J. U.: Bio-medical diagnostic technology using carbon nanotubes X-ray source. Proc. 21st IVNC'2008, 13-17 July 2008, Wrocław, Poland, pp. 52-53.
• [13] Baptist R., Bieth C., Py C.: Bayard-Alpert vacuum gauge with microtips. J. Vac. Sci. Technol. B14, 3 (1996) 2119-2125.
• [14] Balsiger H. et al.: ROSINA - ROSETTA orbiter spectrometer for ion and neutral analysis. Space Science Reviews 128 (2007) 745-801.
• [15] http://www.phim.unibe.ch/rosina/rosina.html
• [16] http://www.team-nanotec.de
• [17] http://www.debiotech.ch
• [18] Griss P., Stemme G.: Side-opened out-of-plane microneedles for microfluidic transdermal liquid transfer. J Micromech. Syst. 12, 3 (2003) 296-301.
• [19] Gardeniers H. J. G. E., Luttge R., Berenschot E. J. W., de Boer M. J., Yeshurun S. Y., Hefetz M., van't Oever R., van den Berg A.: Silicon micromachined hollow microneedles for transdermal liquid transport. J Micromech. Syst. 12, 6 (2003) 855- 862.
• [20] http://neurophilosophy.wordpress.com/2006/07/13/brain-machine-interface-controls- movement-of-prosthetic-limb/.
• [21] Górecka-Drzazga A., Dziuban J.: Technologia ostrzy do mikrolamp krzemowych. Mat. V Konferencji Naukowej ELTE'94, 20-23 kwietnia 1994, Szczyrk, t. 2, ss. 532-535.
• [22] Górecka-Drzazga A.: Plasma dry etching of monocrystalline silicon for the mikrosystem technology. Optica Applicata 32, 3 (2002) pp. 339-346.
• [23] Dziuban J., Górecka-Drzazga A.: Mold-type field-emission array fabrication by use of fast silicon etching. J. Vac. Sci. Technol. B 19, 3 (2001) pp. 897-899.
• [24] Górecka-Drzazga A., Dziuban J., Prociów E.: SiC field emitter array fabricated by transfer mold technique. Proc. 12th IVMC'99, 6-9 July 1999, Darmstadt, Germany, pp. 36-37.
• [25] Górecka-Drzazga A.: Micro - and nanostructurization of surfaces - techniques and applications. Optica Applicata 37, 4 (2007) pp. 341-357.
• [26] Górecka-Drzazga A., Cichy B., Dziuban J. A.: Miniaturowe polowe źródła elektronów. Elektronika 1 (2009) ss. 62-64.