Detektor scyntylacyjny elektronów do skaningowego mikroskopu elektronowego umożliwiający obrazowanie płynnej wody

• Autorzy: Słówko W. , Krysztof M.

Warianty tytułu

EN

Scintillator electron detector capable of liquid water imaging in a scanning electron microscope

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono system detekcyjno-próżniowy, zamontowany jako wyposażenie dodatkowe do klasycznego, wysoko-próżniowego SEM, umożliwiający jego pracę zarówno w zakresie wysokiej próżni jak i podwyższonych ciśnień powietrza oraz pary wodnej przekraczających 10 hPa. Stwarza to możliwości obserwacji dielektryków bez pokrycia przewodzącego, a także preparatów zawierających wodę w fazie ciekłej. System jest wyposażony w tzw. pośredni detektor elektronów wtórnych, wykorzystujący elektrony przechodzące przez przesłonę dławiącą do komory pośredniej układu pompowania różnicowego, gdzie następuje konwersja sygnału elektronowego na świetlny, typowa dla detektora scyntylacyjnego.

EN

A vacuum-detection system mounted as an optional equipment to a classic high-vacuum SEM has been presented. The system enables the SEM functioning both at high vacuum and with air or water vapours at pressures exceeding 10 hPa, which means that dielectric samples without conductive covering or those containing liquid water can be observed. The system is equipped with a so called Intermediate Secondary Electron Detector which utilizes electrons passing through the throttling aperture to the intermediate chamber of a differential pumping system. There, conversion of the electron signal into light one typical for a scintillator detector is conducted.

Słowa kluczowe

PL

VP SEM; detekcja elektronów wtórnych

EN

variable pressure scanning electron microscopy (VP SEM); secondary electron detection

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 9
• Strony: 25--27
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.

Twórcy

autor

Słówko W.

autor

Krysztof M.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Futing M. W.: Variable Pressure Scanning Electron Microscopy - State of the Art and Outlook. Microscopy and Microanalysis vol. 9, (2003) 484-485.
• [2] Danilatos G. D.: Foundations of ESEM. Advances in Electronics and Electron Physics vol. 71, (1988) 109-250.
• [3] Autrata R., Jirak J.: Scanning electron microscopy at low vacuum in specimen chamber. Proc. EUREM12, Brno, (2000) 1211-1216.
• [4] Gnauck P., et al.: Detector for variable pressure areas and an electron microscope comprising a corresponding detector. Pub. No.: US 2005/0173644A 1, United States Patent Application Publication (2005).
• [5] Thiel B., Toth M.: Secondary electron contrast in low-vacuum/environmental scanning electron microscopy of dielectrics. Journal of Applied Physics 97, (2005) 051101.
• [6] Słówko W., Prasoł H.: Microsphere plate as an electron detector at low vacuum. Vacuum vol. 67, (2002) 191-198.
• [7] Słówko W.: New system for secondary electron detection in variable pressure SEM. Journal of Microscopy vol. 224, (2006) 97-99.