Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Identyfikatory
Warianty tytułu
Profiling of chemical content of oxide passivation layers using Auger electron spectromicroscopy
Konferencja
Krajowa Konferencja Elektroniki. 10 ; 05-09.06.2011 ; Darłówko Wschodnie, Polska
Języki publikacji
Abstrakty
Zbadano rozkład zawartości pierwiastków w nanowarstwach pasywacyjnych metodą spektromikroskopii elektronów Augera w funkcji czasu trawienia jonowego (Ar⁺): (i) na powierzchni stali nierdzewnej 316L (O i Cr) oraz (ii) w struklurze HfO₂/SiO₂/SiC zawierającej buforową nanowarstwę SiO₂(Hf i Si) Do analizy widm AES wykorzystano opracowaną procedurę numeryczną, która realizuje odejmowanie tła widma oraz dekompozycję - na bazie algorytmu ewolucyjnego - nakładających się złożonych linii pierwiastków, w badanych przypadkach odpowiednio: O KLL i Cr LMM oraz Hf MNN i Si KLL Na tej podstawie wyznaczono grubość warstw tlenkowych na ok. 5-6 nm.
Element content distribution in passivation nanofilms was examined using Auger electron spectromicroscopy (AES) versus ion sputtering time (Ar⁺): (i) at the 316L stainlees steel surface (O and Cr) and (ii) in the HfO₂/SiO₂/SiC structure containing SiO₂ buffer nanolayer (Hf and Si). Analysis of AES spectra was performed using an elaborated numerical procedure, which realizes the spectrum background subtraction and decomposition - using an evolutionary algorithm - of the overlapping lines in the examined cases of O KLL and Cr LMM as well as Hf MNN and Si KLL, respectively On this basis the passivation layer thickness was determined as about 5...6 nm.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
63--66
Opis fizyczny
Bibliogr. 6 poz., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
autor
- Instytut Fizyki - Centrum Naukowo-Dydaktyczne Politechniki Śląskiej, Gliwice
Bibliografia
- [1] Watts J. E., J. Wolstenholme: An introduction to surface analysis by XPS and AES Wiley, 2003.
- [2] Wetzig K., S. Baunack, V. Hoffmann, S. Oswald, F. Prassler: Quantitative depth profiling of thin layers. Fresenius J. Anal. Chem., vol. 358, pp. 25-31, 1997.
- [3] Bauer H. E.: A fast and simple method for background removal in Auger electron spectroscopy. Fresenius J. Anal. Chem., vol. 353, pp. 450, 1995.
- [4] Storn R., K. Price: Differential evolution - a simple and efficient heuristic for global optimization over continuous spaces. Journal of Gl. Optim., vol. 11, pp. 341-359, 1997.
- [5] Mroczkowski S., D. Lichtman: J. Vac. Sci. Technol. A, „Calculated Auger yields and sensitivity factors for KLL NOO transitions with 1-10 kV primary beams”, vol. 3, pp. 1860-1865, 1985.
- [6] Davis L. E., N. C. MacDonald, P. W. Palmberg. G. E. Riach, R. E. Weber: Handbook of Auger electron spectroscopy. 2nd ed., Physical Electronics Industries, 1978
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAK-0027-0014