Optymalizacja technologii reotaksjalnego osadzania nanowarstw wybranych przezroczystych tlenków przewodzących

• Autorzy: Szuber J. , Kwoka M. , Kościelniak P. , Sitarz M.

Warianty tytułu

EN

Optimization of rheotaxial technology for deposition of nanolayers of selected transparent conductive oxides

• Konferencja: Krajowa Konferencja Elektroniki. 10 ; 05-09.06.2011 ; Darłówko Wschodnie, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy opisano wyniki wstępnych badań nad optymalizacją technologu reotaksjalnego RGTO osadzania nanowarstw wybranych przezroczystych tlenków przewodzących (SnO₂ , In₂O₃) w nanoskali, na podstawie badań z wykorzystaniem wybranych powierzchniowych metod analitycznych (SEM, AFM, XPS), w aspekcie ich zastosowań m.in w sensoryce gazów toksycznych.

EN

In this paper the primary results of studies on Optimization of rheotaxial technology for the deposition of nanolayers of the selected transparent conductive oxides (SnO₂, In₂O₃) in nanoscale based on the study with the selected surface analytical methods (SEM, AFM, XPS), have been presented in aspects for application in gas sensors of toxic gases.

Słowa kluczowe

PL

przezroczyste tlenki przewodzące; SnO2; In2O3; wzrost reotaksjalny; nanowarstwy; stechiometria i morfologia powierzchni; SEM; AFM; XPS

EN

transparent conductive oxides; thin films and nanolayers; SnO2; In2O3; surface stoichiometry and morphology; SEM; AFM; XPS

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 9
• Strony: 25--27
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Szuber J.

autor

Kwoka M.

autor

Kościelniak P.

autor

Sitarz M.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, Gliwicy

Bibliografia

• [1] Sberveglien G.: Recent developments in semiconducting thin films gas sensors. Sensors and Actuators B 23, 103-109, 1995.
• [2] Goepel W., Schierbaum K. D.: SnO2 sensors: current status and future prospects. Sensors and Actuators B 26-27, 1-12, 1995.
• [3] Sberveglieri G., Faglia G., Groppelli S., Nelli P., Camanzi A.: A new technique for growing large surface area SnO2 thin film (RGTO technique). Semicond. Sci. Technol. 5, 1231-1233, 1990.
• [4] Szuber J., Uljanow J., Karczewska-Buczek T., Jakubik W., Waczyński K., Kwoka M., Kończak S.: On the correlation between morphology and gas sensing properties of RGTO SnO2 thin films. Thin Solid Films, 490, 54-53, 2005.
• [5] Ottaviano L., Kwoka M., Bisti F., Parisse R., Gtossi V., Santucci S., Szuber J.: Local surface morphology and chemistry of SnO2 thin films deposited by rheotaxial growth and thermal oxidation method for gas sensors application. Thin Solid Films. 517, 6161-9,2009.
• [6] Kościelniak R., Mazur J., Henek J., Kwoka M., Pawela L., Szuber J.: XPS and AFM studies of surface chemistry and morphology of IN2O3 ultrathin films deposited by rheotaxial growth and vacuum oxidation. Thin Solid Films (accepted for publication 08.03.2011).