PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Optymalizacja technologii reotaksjalnego osadzania nanowarstw wybranych przezroczystych tlenków przewodzących

Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Optimization of rheotaxial technology for deposition of nanolayers of selected transparent conductive oxides
Konferencja
Krajowa Konferencja Elektroniki. 10 ; 05-09.06.2011 ; Darłówko Wschodnie, Polska
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
W pracy opisano wyniki wstępnych badań nad optymalizacją technologu reotaksjalnego RGTO osadzania nanowarstw wybranych przezroczystych tlenków przewodzących (SnO₂ , In₂O₃) w nanoskali, na podstawie badań z wykorzystaniem wybranych powierzchniowych metod analitycznych (SEM, AFM, XPS), w aspekcie ich zastosowań m.in w sensoryce gazów toksycznych.
EN
In this paper the primary results of studies on Optimization of rheotaxial technology for the deposition of nanolayers of the selected transparent conductive oxides (SnO₂, In₂O₃) in nanoscale based on the study with the selected surface analytical methods (SEM, AFM, XPS), have been presented in aspects for application in gas sensors of toxic gases.
Rocznik
Strony
25--27
Opis fizyczny
Bibliogr. 6 poz., il., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
  • Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, Gliwicy
Bibliografia
  • [1] Sberveglien G.: Recent developments in semiconducting thin films gas sensors. Sensors and Actuators B 23, 103-109, 1995.
  • [2] Goepel W., Schierbaum K. D.: SnO2 sensors: current status and future prospects. Sensors and Actuators B 26-27, 1-12, 1995.
  • [3] Sberveglieri G., Faglia G., Groppelli S., Nelli P., Camanzi A.: A new technique for growing large surface area SnO2 thin film (RGTO technique). Semicond. Sci. Technol. 5, 1231-1233, 1990.
  • [4] Szuber J., Uljanow J., Karczewska-Buczek T., Jakubik W., Waczyński K., Kwoka M., Kończak S.: On the correlation between morphology and gas sensing properties of RGTO SnO2 thin films. Thin Solid Films, 490, 54-53, 2005.
  • [5] Ottaviano L., Kwoka M., Bisti F., Parisse R., Gtossi V., Santucci S., Szuber J.: Local surface morphology and chemistry of SnO2 thin films deposited by rheotaxial growth and thermal oxidation method for gas sensors application. Thin Solid Films. 517, 6161-9,2009.
  • [6] Kościelniak R., Mazur J., Henek J., Kwoka M., Pawela L., Szuber J.: XPS and AFM studies of surface chemistry and morphology of IN2O3 ultrathin films deposited by rheotaxial growth and vacuum oxidation. Thin Solid Films (accepted for publication 08.03.2011).
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAK-0027-0002
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.