Wpływ procesu starzenia na parametry cienkich warstw LSFO

• Autorzy: Piskorska S.

Warianty tytułu

EN

Influence of ageing of LSFO thin films on their electrical properties

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Tlenek lantanowo-strontowo-żelazowy (La,Sr)FeO3 (LSFO) jest roztworem stałym tlenku lantanowo-żelazowego LaFeO3 (LFO) i strontowo żelazowego SrFeO3 (SFO), w którym jony lantanu są częściowo zastąpione przez jony strontu. Charakteryzuje się złożoną siecią krystaliczną o budowie perowskitu. Temperaturowy współczynnik rezystancji niektórych roztworów LSFO wynosi kilka proc/K w temperaturze pokojowej [1]. Zaprezentowano wyniki badań w zakresie długoterminowych badań stabilności parametrów elektrycznych warstw przewodzących. Warstwy przewodzące LSFO wykonano w technologii zol-żel. Metodą rozwirowania naniesiono roztwory na podłoże z tlenku glinowego. Syntezę przeprowadzono w temperaturze 650°C, stosując szybką obróbkę cieplną (RTP - Rapid Thermal Processing). Kontrolowane starzenie warstw ma pozytywny wpływ na stabilność parametrów elektrycznych warstw. Na podstawie przeprowadzonych badań można wnioskować, że są one obiecującym materiałem na konstrukcje bolometryczne.

EN

Non-stoichiometric oxides like lanthanum-strontium iron (La,Sr)FeO3 (also referred to as LSFO) are solid solutions of LaFeO3 and SrFeO3 oxides and have a perovskite-type structure. They exhibit good electrical conductivity. The thermal coefficient of resistivity of some of these compositions reaches a few%/K at room temperature. A sol-gel manufacturing process of thin LSFO films has been developed. Films made of several (LaxSr1-x) FeO3 compositions were manufactured and two optimum compositions were selected for investigations. This paper presents the thin film manufacturing process and an influence of ageing on the electrical parameters of deposited films. Also the long-term stability of the film resistances was investigated using four-point probe and is presented. Ageing have positive influence for the electrical properties and their stability. It can be concluded that chosen compositions of LSFO thin films are promising for bolometer applications.

Słowa kluczowe

PL

bolometr; LSFO; perowskit

EN

bolometer; LSFO; thin films; perovskite

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 1
• Strony: 37--38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Piskorska S.

• Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki

Bibliografia

• [1] Rydzewska S., Łoziński A.: Thin LSFO Films For Bolometers. XXIX International Conference of I MAPS Poland Chapter, 2005, Koszalin-Darłówko.
• [2] Łoziński A.: Ceramiczne ferroelektryki systemu PLZT do detekcji promieniowania temperaturowego. Politechnika Gdańska, 2000, Gdańsk.
• [3] Górecki, Stepowicz W. J., Łoziński A.: Thermal performance of LSCO and LSFO films for IR detectors. Proceedings of the SPIE 2004, vol. 5505, pp. 84-88.
• [4] Smits F. M.: Measurements of Sheet Resistivity with the Four-Point Probe, BSTJ, 1958.
• [5] Guziński A.: Technologia układów warstwowych, Wydawnictwo Komunikacji i Łączności, Warszawa, 1971.
• [6] "National Data Acquistion Linear Devices", artykuł nr 84-092-45.