System aktywnego czujnika siatkowego do pomiaru mikropól odkształceń i naprężeń

• Autorzy: Krężel J. , Kujawińska M.

Warianty tytułu

EN

Active integrated microinterferometric sensor for strain and stress microfields measurement

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono koncepcję zintegrowanego aktywnego systemu mikrointerferometru siatkowego wytwarzanego niskonakładowymi technologiami. Czujnik interferometryczny umożliwia polowe monitorowanie mikropól przemieszczeń. Przedstawiono budowę, symulacje numeryczne oraz eksperymentalne badania modułów wchodzących w skład systemu: platforma oświetlającodetekcyjna odpowiedzialna za wprowadzenie wiązki do głowicy pomiarowej oraz obrazowanie badanego obiektu na matrycy detekującej wynik interferencji sprzężonych wiązek niosących informacje o badanym obiekcie; głowica pomiarowa, która jest pasywnym elementem prowadzącym wygenerowane przez przesuwnik fazy wiązki oświetlające obiekt; przesuwnik fazy jako aktywny element generujący wiązki oświetlające obiekt.

EN

In this paper the idea of active integrated grating microinterferometric based on low-cost technologies setup is presented. That kind of interferometrie sensor allows to perform constant monitoring of displacement microfields. We present the design, numerical simulation and brief experimental results of following modules: light illumination and detection platform-whose task is to generate an input beam for the measurement head and to image the measurement object onto the CMOS matrix detecting the object beams interference result; measurement head-passive element responsible for object illumination beam guiding; phase shifteran active element generating object illumination beams.

Słowa kluczowe

PL

interferometria siatkowa; MEMS; aktuator; przemieszczenia w płaszczyźnie

EN

greting interferometry; MEMS; actuator; translocations

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 6
• Strony: 128--130
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., rys., tab., wyk.

Twórcy

autor

Krężel J.

autor

Kujawińska M.

• Politechnika Warszawska, Insytut Mikromechaniki i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Sałbut L.: Waveguide grating (moire) interferometer for in-plane displacement/strain fields investigation. Opt. Eng. 2002 41, pp. 626-631.
• [2] Patorski K., i in.: Interferometria Laserowa z Automatyczną Analizą Obrazu, Oficyna Wydawnicza PW, Warszawa (2005).
• [3] Legtenberg R., i in.: Comb-drive actuators for large displacements. J. Micromech. Microeng. vol. 6 pp. 320-329, 1996.