Badania struktur warstwowych typu tlenek metalu : pallad w układzie z akustyczną falą powierzchniową do detekcji gazów

• Autorzy: Jakubik W. , Urbańczyk M. , Maciak E. , Urzędniczok H.

Warianty tytułu

EN

Investigations of the metal oxide : palladium layered structures in a surface acoustic wave system for detection of gases

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono badania nowych struktur warstwowych typu: tlenek metalu-pallad w czterokanałowym układzie z akustyczną falą powierzchniową w zastosowaniu do detekcji metanu oraz wodoru w powietrzu. Za pomocą technologii naparowania próżniowego wykonano trzy różne struktury warstwowe z tlenkami: wanadu (V₂O₅) 60 nm, molibdenu (MoO₃) 90 nm, wolframu (WO₃) 75 nm pokrytych palladem o grubości 14 nm. Specjalnie zaprojektowany i wykonany układ elektroniczny umożliwia jednoczesną detekcję trzech częstotliwości różnicowych (różnica częstotliwości każdego toru ze strukturą warstwową oraz toru swobodnego bez pokrycia). Wykonano badania oddziaływań tych struktur z metanem oraz wodorem w powietrzu w zakresie niskich stężeń (do 500 ppm dla metanu oraz 4% dla wodoru). Dla stosowanej temperatury oddziaływania ok. 25°C stwierdzono znacznie większe oddziaływania z metanem w porównaniu do wodoru.

EN

The investigations of the new layered structures: metal oxide-palladium in a four-channel system with surface acoustic wave is presented. Testing was carried out for methane and hydrogen gas in air. The three various structures layered with different metal oxide: V₂O₅) 60 nm, (MoO₃) 90 nm or (WO₃) 75 nm and the same palladium film (14 nm) were prepared by means of vacuum evaporation technology. The specialized electronic circuit allows simultaneous detection of three differential frequencies (the difference between frequency with layered structure and the free ones). The interaction of this structures with methane and hydrogen gas in air in the range of low concentrations (to 500 ppm for methane and 4% for hydrogen) are performed. The interaction with methane is much greater at the applied temperature ~25°C, in comparison to the hydrogen gas. The change in frequency is on the level of about 900Hz for 500 ppm concentration of methane in air.

Słowa kluczowe

PL

pallad; struktura warstwowa; fala powierzchniowa; tlenki metali

EN

layered structure; palladium; surface wave; metal oxide

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 6
• Strony: 89--91
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Jakubik W.

autor

Urbańczyk M.

autor

Maciak E.

autor

Urzędniczok H.

• Politechnika Śląska, Instytut Fizyki, Gliwice

Bibliografia

• [1] Jakubik W., Urbańczyk M., Maciak E.: Metal-free phthalocyanine and palladium sensor structure with a polyethylene membrane for hydrogen detection in SAW systems. Sensors and Actuators B 127 (2007) pp. 295-303.
• [2] Jakubik W.: Investigations of thin film structures of WO3 and WO3 with Pd for hydrogen detection in surface acoustic wave sensor system. Thin Solid Films 515 (2007) pp. 8345-8350.