Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych : studium

• Autorzy: Gnyba M. , Kozanecki M. , Wroczyński P. , Bogdanowicz R.

Warianty tytułu

EN

Raman monitoring of thin carbon layers growth : study

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono zagadnienie monitorowania in-situ próżniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnym (zawartości faz węglowych: sp² i sp³, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii ramanowskiej in-situ podczas procesu syntezy pozwala monitorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezulaty prac eksperymentalnych

EN

In this paper we present selected problems referred to Raman in-situ monitoring of growth of carbon-based thin layers, especially - of diamond and diamond-like-carbon layers. Aplication of Raman measurements enables investigation of molecular composition of the layer (content of sp² and sp³ hybrydised carbon as well as presence of C-H defects). In-situ Raman monitoring enables also investigation of process progress and provides data useful for its optimisation. Setups of optical systems used in Raman spectroscopy, problems of exciation wavelengths selection and results experimental work are shown.

Słowa kluczowe

PL

spektroskopia ramanowska; cienkie warstwy węglowe; monitoring in-situ; CVD; lasery

EN

Raman spectroscopy; thin carbon layers; in-situ monitoring; CVD; lasers

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 51, nr 9
• Strony: 113--116
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Gnyba M.

autor

Kozanecki M.

autor

Wroczyński P.

autor

Bogdanowicz R.

• Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki

Bibliografia

• [1] May P. W.: Diamond thin films: a 21 st-century material. Phil. Trans. R. Soc. Lond. A, vol. 358, pp. 473-495, 2000.
• [2] Filik J.: Raman spectroscopy: a simple, non-destructive way to characterise diamond and diamond-like materials. Spectroscopy Europe, vol. 17, no. 5, pp. 10-17, 2005.
• [3] Fabisiak J., Patyk J. K.: CVD diamond quality characterisation by ESR, SEM and Raman spectroscopy. Acta Physica Polonica A, vol. 87, no. 1, pp. 145-150, 1995.
• [4] Piscanec S., Mauri F., Ferrari A. C., Lazzeri M., Robertson J.: Ab initio resonant Raman spectra of diamond-like carbon. Diamonds & Related Materials, vol. 14, s. 1078-1083, 2005.
• [5] Bowley H. J., Gardiner D. J., Gerrard D. L., Graves P. R., Louden J. D., Turrell G.: Practical Raman Spectroscopy. Springer-Verlag, Berlin, 1991.
• [6] Lin-Vien D., Colthup N. B., Fateley W. G., Grasselli J. G.: The Handbook of Infrared and Raman Characteristic Frequencies of Organic Molecules. Academic Press Inc., San Diego 1991.