Mikrostruktura i parametry warstw gazoczułych na bazie SnO2 otrzymanych metodą zol-żel

• Autorzy: Halek G. , Teterycz H. , Wiśniewski K.

Warianty tytułu

EN

The microstructure and gas sensing properties of sol-gel prepared SnO2 thin films

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono wstępne wyniki badań warstw gazoczułych otrzymywanych metodą zol-żel. Zol przygotowywano na bazie SnCI4 i nanoszono go na podłoża metodą spin coating. Otrzymano warstwy cienkie, ciągłe, drobnokrystaliczne o dobrej adhezji. Czujniki z warstwą zol-żel charakteryzowały się bardzo dużą czułością, silnie zależną od krotności nanoszenia zolu. Badania prowadzono w atmosferze par etanolu. Tak duża czułość obserwowana jest w materiałach nanokrystalicznych, w których obszar zubożony zajmuje całą objętość warstwy gazoczułej.

EN

In this paper the study of SnO2 sensing layers prepared by using a sol-gel technique has been presented. The tin dioxide sol were deposited by spin coating method. The developed sensing layers had a noncrystalline structure and shows excellent adhesion to the substrates. A strong influence of the thickness of deposited material on the gas sensing properties was observed. The small size of the SnO2 grains leads to high sensitivity.

Słowa kluczowe

PL

czujnik gazu; zol-żel; dwutlenek cyny; czułość

EN

gas sensor; sol-gel; tin dioxide; sensitivity

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 6
• Strony: 216--218
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Halek G.

autor

Teterycz H.

autor

Wiśniewski K.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Teterycz H.: Grubowarstwowe chemiczne czujniki gazów na bazie dwutlenku cyny. Wrocław: Oficyna Wydaw. PWroc. 2005.
• [2] Grätzel M.: Sol-Gel Processed TiO2 Films for Photovoltaic Applications. Journal of Sol-Gel Science and Technology, 22, 2001, pp. 7-13.
• [3] Guglielmi M.: Sol-Gel Coatings on Metals. Journal of Sol-Gel Science and Technology, 8, 1997, pp. 443-449.
• [4] Gong J., Chen Q., Fei W., Seal S.: Micromachined nanocrystal-line SnO2 chemical gas sensors for electronic nose. Sensors and Actuators B 102, 2004, pp. 117-125.
• [5] Göpel W., Schierbaum K.D.: SnO2 sensors: current status and future prospects. Sensors and Actuators B, 26-27, 1995, pp. 1-12.