Zintegrowana głowica pomiarowa do badania chropowatości powierzchni bardzo gładkich

• Autorzy: Synak R. , Pawełczak M.

Warianty tytułu

EN

Compact measurement head for roughness evaluation of very smooth surfaces

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opisano laserową głowicę służącą do pomiaru chropowatości i reflektancji powierzchni. Działanie przyrządu jest oparte na zasadzie pomiaru parametru TIS, przy czym pomiaru tego dokonuje się za pomocą nowego, specjalnego układu, który umożliwia uzyskanie urządzenia o zwartej budowie i małych rozmiarach. Przytoczono wyniki niektórych badań przyrządu oraz przedstawiono jego główne cechy i parametry.

EN

A handy laser instrument performing non-contact measurements of surface roughness and surface diffuse and specular reflectances is presented. The instrument operates on the principle of measuring the TIS parameter. The distinguishing feature of this scatterometer is the compact measurement head construction, resulting in its small size. Results of some investigations as wellas main features and specifications of the scatterometer are presented.

Słowa kluczowe

PL

metrologia powierzchni; chropowatość powierzchni; skaterometria; metoda TIS

EN

surface metrology; surface roughness; scatterometry; TIS method

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 11
• Strony: 266--270
• Opis fizyczny: Bibliogr. 15 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Synak R.

autor

Pawełczak M.

• Instytut Maszyn Matematycznych, Warszawa

Bibliografia

• [1] Bennett H. E., Porteus J. O.: Relation Between Surface Roughness and Specular Reflectance at Normal Incidence. Journal of the Optical Society of America, vol. 51(2), Feb. 1961, pp. 123-129.
• [2] Church E. L., Jenkinson H. A., Zavada J. M.: Measurement of the finish of diamond-turned metal surfaces by differential light scattering. Optical Engineering, no. 4, 1977, pp. 360-374.
• [3] Church E. L., Jenkinson H. A., Zavada J. M.: Relationship between Surface Scattering and Microphotographic Features Optical Engineering, no. 1, 1979, pp. 125-136.
• [4] Davies H.: The reflection of electromagnetic waves from rough surface. Proceedings of the IEE, Part 4, vol. 51, Aug. 1954, pp. 209-214.
• [5] Guerra J. M.: A practical total integrated scatterometer. Proceedings SPIE, vol. 1009, 1988, pp. 146-154.
• [6] Łukianowicz C.: Optical instrument for evaluation of rough machined surfaces by angular distribution of scattered light. Proceedings SPIE, vol. 1991, 1993, pp. 173-180.
• [7] Łukianowicz C.: Podstawy pomiarów nierówności powierzchni metodami rozpraszania światła. Wydawnictwo Uczelniane Politechniki Koszalińskiej, Koszalin 2001.
• [8] Marx E., Vorburger T. V.: Direct and inverse problems for light scattered by rough surface. Applied Optics, Sept. 1990, pp. 3613-3626
• [9] Pawełczak M., Lipiński W., Lis T., Synak R.: Urzadzenie do pomiaru chropowatości powierzchni. Patent RP, nr 198299, 2007.
• [10] Stover J. C.: Optical Scattering. Measurement and Analysis. SPIE Optical Engineering Press, Washington, 1995.
• [11] Synak R., Pawełczak M., Lipiński W., Lis T., Szwech M.: Laserowe urządzenie do pomiaru parametrów powierzchni, Materiały konferencji Metrologia Wspomagana Komputerowo MWK'2003, t. III, 2003, ss. 165-172.
• [12] Valliant J. G., Foley M. P., Bennet J. M.: Instrument for on line monitoring of surface roughness of machined surfaces. Optical Engineering, no. 12, 2000, pp. 3247-3254.
• [13] Vorburger T. M., Marx E., Lettieri T. R.: Regimes of surfaces roughness measurable with light scattering. Applied Optics, July 1993, pp. 3401-3408.
• [14] ASTM Standard Test Method for Measuring the Effective Surface Roughness of Optical Components by Total Integrated Scattering, F 1048-87. N.Y. 1999.
• [15] Prospekty firmy Schmitt Measurements Systems, Inc., Maryland, 2008.