Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych

• Autorzy: Bogdanowicz R. , Gnyba M. , Wroczyński P.

Warianty tytułu

EN

Optoelectronic tools for in-situ monitoring of synthesis of thin diamond-like carbon films

• Konferencja: Krajowa Konferencja Elektroniki. 7 ; 02-04.06.2006 ; Darłówko Wschodnie, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, do wytwarzacienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano rzestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plazmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzegniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych torów światłowodowych. Zaprezentowano wyniki prac eksperymentalnych i interpretację danych pomiarowych.

EN

Optoelectronic system dedicated for in-situ diagnostics of plasma assisted CVD processes is presented in this paper. The system uses spatially resolved optical emission spectroscopy OES and Raman spectroscopy. Such an approach enables simultaneous investigations of particle composition of the plasma and performance of the growing layer. Design of measurement systems coupled with CVD chamber by dedicated fiber-optic paths is described. Results of experimental works are presented and analysis of obtained data is given.

Słowa kluczowe

PL

diagnostyka optyczna in-situ; optyczna spektroskopia emisyjna; spektroskopia ramanowska; CVD; warstwy diamentopodobne

EN

optical in-situ monitoring; optical emission spectroscopy; Raman spectroscopy; CVD; diamond-like carbon films

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 49, nr 11
• Strony: 80--83
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Bogdanowicz R.

autor

Gnyba M.

autor

Wroczyński P.

• Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki

Bibliografia

• [1] Wort C. J. H., Balmer R. S.: Materials Today, vol. 11, no. 1-2, pp. 22-28, 2008.
• [2] Kubovic M., Aleksov A., Schreck M., Bauer T.: Diam. Rel. Mat. vol. 12, pp. 403-408, 2003.
• [3] Asmussen J., Dandy D. S.: Diamond Thin Films Handbook. Marcel Dekker, Inc., New York, 2002.
• [4] Jones N., Ahmed W., Hassan I., Phys J.: Condens. Matter, vol. 15, pp. 2969-2975, 2003.
• [5] Bogdanowicz R., Gnyba M., Wroczyński P.: J. Phys. IV vol. 137, pp. 57-61,2006.
• [6] Gnyba M., Bogdanowicz R.: Eur. Phys. J. ST, vol. 144, pp. 209-212, 2007.
• [7] Spanos J., Poolla K.: Final EECS Report Berkley nr. 96-022, 1996.
• [8] Fabisiak K.: Analiza defektów w cienkich, polikrystalicznych warstwach diamentowych otrzymywanych metodami CVD. Wydawnictwo UMK, Toruń 1994.
• [9] Bowley H. J., Gardiner D. J., Gerrard D. L., Graves P. R., Louden J. D., Turrell G.: Practical Raman Spectroscopy. Springer-Verlag, Berlin, 1991.
• [10] Herman A., Wroczynski P.: Adv. Sci. Technol., vol. 6, pp. 141-7,1995.