Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Optoelectronic tools for in-situ monitoring of synthesis of thin diamond-like carbon films
Konferencja
Krajowa Konferencja Elektroniki. 7 ; 02-04.06.2006 ; Darłówko Wschodnie, Polska
Języki publikacji
Abstrakty
W artykule przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, do wytwarzacienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano rzestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plazmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzegniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych torów światłowodowych. Zaprezentowano wyniki prac eksperymentalnych i interpretację danych pomiarowych.
Optoelectronic system dedicated for in-situ diagnostics of plasma assisted CVD processes is presented in this paper. The system uses spatially resolved optical emission spectroscopy OES and Raman spectroscopy. Such an approach enables simultaneous investigations of particle composition of the plasma and performance of the growing layer. Design of measurement systems coupled with CVD chamber by dedicated fiber-optic paths is described. Results of experimental works are presented and analysis of obtained data is given.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
80--83
Opis fizyczny
Bibliogr. 10 poz., il., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
- Politechnika Gdańska, Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki
Bibliografia
- [1] Wort C. J. H., Balmer R. S.: Materials Today, vol. 11, no. 1-2, pp. 22-28, 2008.
- [2] Kubovic M., Aleksov A., Schreck M., Bauer T.: Diam. Rel. Mat. vol. 12, pp. 403-408, 2003.
- [3] Asmussen J., Dandy D. S.: Diamond Thin Films Handbook. Marcel Dekker, Inc., New York, 2002.
- [4] Jones N., Ahmed W., Hassan I., Phys J.: Condens. Matter, vol. 15, pp. 2969-2975, 2003.
- [5] Bogdanowicz R., Gnyba M., Wroczyński P.: J. Phys. IV vol. 137, pp. 57-61,2006.
- [6] Gnyba M., Bogdanowicz R.: Eur. Phys. J. ST, vol. 144, pp. 209-212, 2007.
- [7] Spanos J., Poolla K.: Final EECS Report Berkley nr. 96-022, 1996.
- [8] Fabisiak K.: Analiza defektów w cienkich, polikrystalicznych warstwach diamentowych otrzymywanych metodami CVD. Wydawnictwo UMK, Toruń 1994.
- [9] Bowley H. J., Gardiner D. J., Gerrard D. L., Graves P. R., Louden J. D., Turrell G.: Practical Raman Spectroscopy. Springer-Verlag, Berlin, 1991.
- [10] Herman A., Wroczynski P.: Adv. Sci. Technol., vol. 6, pp. 141-7,1995.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWAC-0001-0018