Badania metod PVD/ CVD wzrostu nanorurek węglowych

• Autorzy: Stępińska I. , Kozłowski M. , Sobczak K.

Warianty tytułu

EN

Inwestigations of carbon nanotubes growth stages

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Nanorurki węglowe otrzymywano za pomocą dwuetapowej metody PVD/ CVD. W pierwszym etapie (proces PVD) wytworzono warstwę węglową zawierającą nanoziarna Ni. W drugim etapie (proces CVD) warstwa z Ni została zmodyfikowana w celu otrzymania nanorurek węglowych osadzonych w matrycy węglowej. Czas procesu CVD został tak dobrany, aby otrzymać nanorurki w różnych etapach wzrostu (10, 20, 30 min). Wytworzone warstwy zawierające nanorurki węglowe charakteryzowane były za pomocą mikroskopii TEM i SEM. Do analizy morfologii i struktury otrzymanych nanorurek wykorzystano SEM wyposażony w detektory elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych. Badania struktury nanorurek w różnych etapach wzrostu wykonano za pomocą TEM.

EN

Carbon nanotubes were grown using two step method. In a first step (PVD process) a carbonaceous film containing Ni nanograins was obtained. In a second step (CVD process) the film with Ni nanograins was modified for preparation of carbon nanotubes placed in carbonaceous matrix. Growth' time for CVD process was chosen in such a way to stop growing process in various stages (10, 20, 30 min). Obtained film containing carbon nanotubes was characterized with TEM and SEM methods. Backscattered and secondary electron detectors were used for SEM to analyze a morphology and structure of obtained carbon nanotubes. Carbon nanotubes structure in different growth stages was investigated by TEM.

Słowa kluczowe

PL

nanorurki węglowe; Ni; mechanizm wzrostu

EN

carbon nanotube; Ni; growth mechanism

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2012
• Tom: Vol. 53, nr 8
• Strony: 98--101
• Opis fizyczny: Bibliogr. 16 poz., il., tab., wykr.

Twórcy

autor

Stępińska I.

autor

Kozłowski M.

autor

Sobczak K.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] Deck C. P., Vecchio K.: Growth mechanism of vapor phase CVD-grown multi-walled carbon nanotubes. Carbon, 43, (2005), 2608-2617.
• [2] Veronese G. P. i in.: Effects of Ni catalyst-substrate interaction on carbon nanotubes growth by CVD Physica E, 37, (2007), 21-25.
• [3] Danis T. i in.: The influence of Ni catalyst on the growth of carbon nanotubes on Si substrates, Vacuum 81, (2006), 22-24.
• [4] Rümmeli M. H i in.: Catalyst size dependencies for carbon nanotube synthesis, Phys. Stat. Sol., 11 (b 244), (2007), 3911-3915.
• [5] Liao X. Z. i in.: Effect of catalyst composition on carbon nanotube growth Applied Physics Letters, 16 (82), (2003), 2694-2696.
• [6] Wong Y. M. i in.: Carbon nanotubes field emission devices grown by thermal CVD with palladium as catalysts. Diamond & Related Materials, 13, (2004), 2105-2112.
• [7] Nietubyć R. i in.: XAFS studies of the short-range order in Ni nano-particles embedded in carbonacoues matrix. Journal of Alloys and Compounds, 484, (2009), 896-901.
• [8] Kowalska E. i in.: Morphology and electronic properties of carbon nanotubes grown with Fe catalyst. J. Mater. Res., 18 (10), (2003), 2452-2458.
• [9] Bronikowski M. J.: CVD growth of carbon nanotube bundle arrays. Carbon, 44, (2006), 2822-2832.
• [10] Zhao N. i in.: Fabrication and growth mechanism of carbon nanotubes by catalytic CVD. Materials Letters, 60 (2006), 159-163.
• [11] Musatov A. L. i in.: Field electron emission from nanotube carbon layers grown by CVD process. Applied Surface Science, 183, (2001), 111-119.
• [12] Sinnott S. B. i in.: Model of carbon nanotube growth through chemical vapor deposition. Chem. Phys. Lett., 315, (1999), 25-30.
• [13] Charlier J. C., Iijima S.: Growth Mechanisms of Carbon Nanolubes. in: M. S. Dresselhaus, G. Dresselhaus, Ph. Avouris Eds. Carbon Nanotubes, Topics Appl. Phys., 80.
• [14] Springer-Verlag, Berlin Heidelberg, 2001, pp. 55-81.
• [15] Zhang X. i in.: Rapid growth of well-aligned carbon nanotube arrays. Chem. Phys. Lett., 362, (2002), 285-290.
• [16] Czerwosz E. i in.: Studies of structural changes in C60/C70 +Ni layers annealed under oxidative conditions. Vacuum 48, (1997), 361.