System detekcyjny elektronów wtórnych I wstecznie rozproszonych do obrazowania 3D w niskopróżniowej SEM

• Autorzy: Słówko W. , Krzysztof M.

Warianty tytułu

EN

Secondary and backscattered electrons detector system for 3D imaging in Low Vacuum SEM

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono nowe rozwiązanie systemu detekcyjnego, przeznaczonego do kierunkowej detekcji elektronów w niskopróżniowej skaningowej mikroskopii elektronowej, w celu trójwymiarowej (3D) rekonstrukcji topografii powierzchni metodą wielodetektorową. Kluczowym zespołem systemu jest głowica próżniowo-detekcyjna, stanowiąca komorę pośrednią układu pompowania różnicowego, w której wnętrzu zainstalowano czterokwadrantową diodę PIN jako detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). Rolę detektora elektronów wtórnych (SE) typu jonizacyjnego, pełni przesłona dławiąca przepływ gazu. Pokazano, że w dyskutowanym rozwiązaniu można uzyskać kierunkową detekcję BSE, niezakłóconą w skutek rozpraszania w gazie jak i detekcję SE w szerokim zakresie ciśnień.

EN

A new system for directional detection of electrons in low vacuum scanning electron microscopy (LVSEM) is presented. The system is destined for three dimensional (3D) reconstruction of the surface topography with the multi detector method. A main unit of the system is the vacuum-detection head playing the role of an intermediate chamber of the differential vacuum system and containing a four-quadrant PIN diode as the backscattered electron (BSE) detector. The role of a secondary electron (SE) detector of the ionization type is performed by the aperture throttling gas flow. Authors show that both the directional BSE detection undisturbed by scattering and SE detection can be obtained in a wide range of gas pressures.

Słowa kluczowe

PL

skaningowy mikroskop elektronowy niskopróżniowy; obrazowanie trójwymiarowe; system detekcyjny

EN

LV SEM; 3D imaging; detector system

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2012
• Tom: Vol. 53, nr 2
• Strony: 34--36
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Słówko W.

autor

Krzysztof M.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Słówko W., Jeziorski L., Krysztof M.: Trójwymiarowa rekonstrukcja powierzchni w SEM z zastosowaniem półprzewodnikowego detektora elektronów wstecznie rozproszonych. Elektronika 2011, nr 11, ss. 53-55.
• [2] Słówko W., Krysztof M., Jeziorski Ł.: Detekcja elektronów wtórnych przez przesłonę dławiącą w SEM o zmiennym ciśnieniu, Elektronika 2011, nr 11, ss. 55-57.
• [3] Stokes D.: Principles and Practice of Variable Pressure/Environmental Scanning Electron Microscopy (VP-ESEM) John Wiley & Sons, 2008.
• [4] Russ J.: Computer-Assisted Microscopy, Plenum Press, New York and London 1990, 351.
• [5] Słówko W.: Zespół kierunkowej detekcji elektronów i skaningowy mikroskop elektronowy. Zgł. patentowe Nr P396065 (2011-08-23).