Laser patterning of coloured green ceramic tapes

• Autorzy: Malecha K. , Jurków D. , Stiernstedt J. , Golonka L.

Warianty tytułu

PL

Zastosowanie lasera do kształtowania barwionych folii ceramicznych

• Konferencja: Electron Technology Conference ELTE 2010. 10 ; International Microelectronics and Packing IMAPS-CPMT. 34 ; 22-25.09.2010 ; Wrocław, Poland
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Influence of composition and colour of ceramic tapes on laser patterirg process is presented in the paper. The investigation is carried out on dyed (blue) and non-dyed (white) alumina tapes with two different organic binders (LDM 7651S and Resicel E50). A special test pattern (Siemens star) is designed and applied to compare results obtained for the different alumina tapes. Influence of laser beam velocily (1-10 mm/s) and Q-switch frequency (1-2 kHz) on obtained minimal feature are studied. The cuttirg of the tapes is performed with Nd-YAG laser (Aurel NAVS 30).

PL

W artykule przedstawiono wyniki badań nad kształtowaniem surowych folii ceramicznych przy zastosowaniu lasera. Przeanalizowano wpływ barwy (biała, niebieska) oraz rodzaju lepiszcza organicznego (LDM 7651S and Resicel E50) foli ceramicznej na proces obróbki laserowej. W celu porównania wyników zaprojektowano i wykorzystano specjalny wzór testowy - gwiazdę Siemensa. W artykule przedstawiono również wpływ prędkości przesuwu wiązki laserowej (1-10 mm/s) oraz częstotliwości generatora pracy impulsowej lasera (1-2 kHz) na maksymalną rozdzielczość obróbki laserowej. W eksperymencie użyto lasera Nd-YAG (Aurel NAVS 30).

Słowa kluczowe

EN

Nd:YAG laser; patterning; ceramic tape

PL

laser; Nd:YAG; obróbka; folie ceramiczne

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2011
• Tom: Vol. 52, nr 3
• Strony: 100--102
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Malecha K.

autor

Jurków D.

autor

Stiernstedt J.

autor

Golonka L.

• Wrocław University of technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Poland

Bibliografia

• [1] Gupta T.: Handbook of thick- and thin-film hybrid microelectronics. Wiley-Interscience, New Jersey (USA), 2003.
• [2] Malecha K., Pijanowska D. G., Golonka L. J., Torbicz W.: LTCC microreactor for urea determination in biological fluids. Sensors and Actuators B, Chemical, 141 (2009), 301-308.
• [3] Gongora-Rubio M. R., Spinoza-Vallejos P., Sola-Laguna L., Santiago-Aviles J. J.: Overview of low temperature cofired ceramics tape technology for mesosystem technology (MsST). Sensors and Actuators A, Physical, 89 (2001) 222-241.
• [4] Ibanez-Garcia N., Martinez-Cisoneros C. S., Valdes F., Alonso J.: Green-tape ceramics. New technological approach for integrating electronics and fluidics in Microsystems. Trends in Analytical Chemistry, 27 (2008), 24-33.
• [5] Golonka L. J., Dziedzic A., Kita J., Zawada T.: LTCC in microsystems application. Informacije MIDEM, 32/4 (2002), 272-279.
• [6] Golonka L. J.: Technology and applications of low temperature cofired ceramic (LTCC) based sensors and microsystems. Bulletin of the Polish Academy of Sciences, 54 (2006), 223-233.
• [7] Kita J., Dziedzic A., Golonka L. J., Zawada T.: Laser treatment of LTCC for 3D structures and elements fabrication. Microelectronics International, 19 (2002), 14-18.
• [8] Nowak K., Baker H., Hall D.: Cold processing of green state LTCC with a CO2 laser, Applied Physics A, Materials Science and Processing, 84 (2006), 267-270.
• [9] Andrijasevic D., Smetana W., Zehetner J., Zoppel S., Brenner W.: Aspects of micro structuring low temperature cofired ceramic (LTCC) for realization complex 3D objects by embossing. Microelectronic Engineering, 84 (2007), 1198-1201.
• [10] Wang G., Folk E., Barlow F., Elshabini A.: Fabrication of microvias for multilayer LTCC substrate. IEEE Transactions on Electronics Packaging Manufacturing, 29/10 (2006), 32-41.
• [11] Jurków D., Malecha K. L., Golonka L. J., Hagen G., Petkov P., Stiernstedt J., Cristea M.: Laser pattering of green ceramic tapes for 3D structures. Proc. 33th International Conference and Exhibition IMAPS Poland, Gliwice-Pszczyna (2009).