Termiczny czujnik przepływu wykonany w technice LTCC

• Autorzy: Jurków D.

Warianty tytułu

EN

LTCC thermal-base flow sensor

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono technologię termicznego czujnika przepływu (termoprzepływomierza). Termoprzepływomierz wykonano w technice niskotemperaturowej ceramiki współwypalanej (LTCC - Low Temperature Cofied Ceramic), z zastosowaniem metod grubowarstwowych. Czujnik składa się z kanału i wiszącego w nim mostka z nadrukowanym termistorem. Termistor pełni rolę grzejnika i elementu mierzącego temperaturę. Do termistora dostarczana jest stała moc elektryczna, która podnosi jego temperaturę. W zależności od prędkości przepływu zmienia się temperatura termistora, zatem i jego rezystancja. Na podstawie pomiaru rezystancji termistora, jednoznacznie jest określany przepływ.

EN

Technology of the LTCC thermal - flow sensor is presented in the paper. The sensor consists of a gas or liquid channel, a bridge hanging in the channel and a thermistor screen-printed on the hanging bridge. The thermistor is used as a heater as well as temperature sensor. The component is heated by constant current. The thermistor's temperature depends on a flow velocity. The flow velocity can be calculated on base of thermistor resistance measurement.

Słowa kluczowe

PL

czujnik; ceramika LTCC; temperatura; przepływ

EN

sensor; LTCC; temperature; flow

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 2
• Strony: 37--40
• Opis fizyczny: Bibliogr. 19 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Jurków D.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Peterson K. A., Patel K. D., Ho C. K., Rohde S. B., Nordquist C. D., Walker C. A., Wroblewski B. D., Okandan M.: Novel microsystem applications with new techniques in Low - Temperature Co - Fired Ceramics. Int. J. Appl. Ceram. Technol., 2, 2005, pp. 345-363.
• [2] Gongora-Rubio M. R., Espinoza-Vallejos P., Sola-Laguna L., Santago-Aviles J. J.: Overview of low temperature co - fired ceramics tape technology for mesosystem technology (MsST). Sensors and Actuators A, 89, 2001, pp. 222-241.
• [3] Golonka L. J.: Technology and application of Low Temperature Co - fired Ceramic (LTCC) based sensors and microsystems. Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences, 54, 2006, pp. 221-231.
• [4] Golonka L. J., Roguszczak H., Zawada T., Radojewski J., Grabowska I., Chudy M., Dybko A., Brzózka Z., Stadnik D.: LTCC based microfluidic systems with optical detection, Sensors and Actuators B, 111-112, 2005, pp. 396-402.
• [5] Golonka L. J., Zawada T., Radojewski J., Roguszczak H., Stefanów M.: LTCC Microfluidic System. Int. J. Appl. Ceram. Technol. 3, 2006, pp. 150-156.
• [6] Thelemann T., Thust H., Hintz M.: Using LTCC for microsystems. Microelectronics International 19, 2002, pp. 19-23.
• [7] Kurek P., Malecha K., Pijanowska D., Golonka L.: Przepływowy czujnik amperometryczny wykonany techniką LTCC. Elektronika, 6, 2008, ss. 164-166.
• [8] Malecha K., Pijanowska D., Golonka L., Torbicz W.: LTCC enzymatic microreactor, International microelectronics and packaging society. 4, 2007, ss. 51-56.
• [9] Nguyen N. T.: Micromachined flow sensors-a review. Flow. Meas. Instrum. 8, 1997, pp. 7-16.
• [10] Lammerink T. S. J., Tas N. R., Krijnen G. J. M., Elwenspoek M., A New class of thermal flow sensors using ΔT = 0 as a control signal. IEEE 2000, pp. 525-530.
• [11] Li Y., Naguib A.:An oscillating, hot - wire technique for resolving the magnitude and direction of velocity measurements using single hot - wire sensors. Experiments in Fluids, 34, 2003, pp. 597-606.
• [12] Abbaspour-Sani E., Javan D.: Analytical study of resistive MEM gas flow meters. Microsyst. Technol. 14, 2007, pp. 89-94.
• [13] Gongora-Rubio M., Sola-Laguna L. M., Moffett P. J., Santiago-Aviles J. J.: The utilization of Iow temperature co - fired ceramics (LTCC-ML) technology for mesoscale EMS, a simple thermistor based flow sensor. Sensors and Actuators A, 73, 1999, pp. 215-221.
• [14] Jurków D., Golonka L., Roguszczak H.: LTCC gas flow detector, Proc. of the European Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition. Oulu, Finlandia, Czerwiec 17-20, 2007, pp. 204-207.
• [15] Jurków D., Golonka L. J., Roguszczak H.: LTCC gas flow sensor, Proc. of the International Microelectronics and Packaging Conference. Rzeszów-Krasiczyn, Polska, wrzesień 23-26, 2007, pp. 279-282.
• [16] Jurków D., Golonka L., Roguszczak H.: LTCC gas flow sensor. Elektronika, 12, 2007, pp. 63-64.
• [17] Jurków D., Golonka L.: Integrated LTCC gas flow sensor with measuring device. Proc. of the 4th International Conference IMAPS/ACerS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnection and Ceramic Microsystems Technologies, Monachium, Niemcy, kwiecień 22-24, 2008.
• [18] Jurków D.: Badanie właściwości czujników zintegrowanych z modułem LTCC. Praca magisterska, Politechnika Wrocławska, 2008.
• [19] Jurków D., Roguszczak, H., Golonka, L.: Cold Chemical Lamination of ceramic green tapes. Journal of the European Ceramic Society, doi:10.1016/j.jeurceramsoc.2008.07.035, 2008.