Metoda i aparatura do wzorcowania helowych nieszczelności wzorcowych

• Autorzy: Marks J. , Magiełko H.

Warianty tytułu

EN

Method and apparatus for calibration of standard helium leaks

• Konferencja: Kongres Polskiego Towarzystwa Próżniowego ; Krajowa Konferencja Techniki Próżni (4 ; 8 ; 21-24.09.2008 ; Janów Lubelski, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Helowe nieszczelności wzorcowe służące do kontroli wskazań helowych wykrywaczy nieszczelności wymagają również okresowej kontroli. W artykule opisano metodę i aparaturę pozwalającą wyznaczyć natężenie wypływu helu z nieszczelności wzorcowej, w zakresie 10 ^-9...10 ^-4 mbarl/s. Zastosowana metoda akumulacyjno-porównawcza opiera się na porównaniu dwóch próbek helu: wzorcowej o znanej ilości helu i zakumulowanej z mierzonej nieszczelności. Do porównania służą wskazania prądów jonowych helu obydwu próbek określone za pomocą kwadrupolowego spektrometru mas. Opisano również aparaturę próżniową służąca do tego celu.

EN

Helium calibrated leaks used for checking indications of mass spectrometers helium leak detectors, needs temporary calibration. This paper describe the method and the apparatus for determinate the helium flow rate from calibrated leak in the range 10 ^-9... 10 ^-4 mbarl/s. The accumulate-damp method are used for helium calibrated leaks. In this method a standard known quantity of helium is compared to helium collecting from unknown leak by quadrupole mass spectrometer.

Słowa kluczowe

PL

technika próżni; helowe wykrywacze nieszczelności; helowe nieszczelności wzorcowe

EN

vacuum technology; helium leak detectors; helium standard leaks

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 1
• Strony: 84--87
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Marks J.

autor

Magiełko H.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] Polska Norma PN-EN ISO 9001:2001.
• [2] Polska Norma PN-ISO 10012-1:1998.
• [3] Polska Norma PN-EN ISO/IEC 17025:2005.
• [4] Jitschin W., Grosse G., Wandrey D.: Vacuum, 38, 883, (1988).
• [5] Erlich C., Basford J.: J. Vac. Sci. Technol. A 10 (1), Jan/Feb 1992, 1.
• [6] Iverson M. V., Hurtley J. L.: J. Vac. Sci. Technol. 20 (4), April 1982, 982.
• [7] Erlich C.: J. Vac. Sci. Technol. A 5 (1), Jan/Feb 1987, 125.
• [8] Wyrażenie niepewności pomiaru. Przewodnik. GUM (1999).