PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Odchylanie i modelowanie rozkładu energii wiązki elektronów w urządzeniu EB-PVD

Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Deflection and modeling of energy distribution of an electron beam in the EB-PVD device
Konferencja
Kongres Polskiego Towarzystwa Próżniowego ; Krajowa Konferencja Techniki Próżni (4 ; 8 ; 21-24.09.2008 ; Janów Lubelski, Polska)
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
W pracy przedstawiono sposób odchylania oraz modelowania rozkładu energii WE w urządzeniu EB-PVD pozwalający na precyzyjne pozycjonowanie wiązki na omiatanej powierzchni. Dzięki temu uzyskano równomierny rozkład temperatury na całej powierzchni materiału, który podgrzewany przez WE paruje na przygotowane podłoże.
EN
The articles present the method of deflection and modeling of an electron beam energy distribution in EB-PVD device that enables precise positioning of the beam on the scanning surface. Hence an even temperature distribution on the whole surface of the material is achieved. The material heated by the electron beam vaporizes on the prepared substrate.
Rocznik
Strony
76--79
Opis fizyczny
Bibliogr. 3 poz.
Twórcy
autor
autor
autor
  • Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa
Bibliografia
  • [1] http://www.paton-icebt.kiev.ua
  • [2] Czopik A., Kozłowski M., Sielanko W., Olszewska K., Krawczyk S., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Kowalski J., Wójcicki S., Sobolewski A., Wronka H.: Sterowanie odchylaną pod dużymi kątami wysokoenergetyczną WE w zastosowaniu do urządzeń EB PVD, sprawozdanie wewnętrzne z realizacji pracy statutowej. PIE, 2007.
  • [3] Sielanko W., Czopik A., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Krawczyk S., Kozłowski M.: Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB-PVD. Problemy Eksploatacji, 1/2007 S8. 137-144.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA9-0025-0025
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.