Odchylanie i modelowanie rozkładu energii wiązki elektronów w urządzeniu EB-PVD

• Autorzy: Kozłowski M. , Sielanko W. , Czopik A. , Jędrzejczyk M. , Olszewska K.

Warianty tytułu

EN

Deflection and modeling of energy distribution of an electron beam in the EB-PVD device

• Konferencja: Kongres Polskiego Towarzystwa Próżniowego ; Krajowa Konferencja Techniki Próżni (4 ; 8 ; 21-24.09.2008 ; Janów Lubelski, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono sposób odchylania oraz modelowania rozkładu energii WE w urządzeniu EB-PVD pozwalający na precyzyjne pozycjonowanie wiązki na omiatanej powierzchni. Dzięki temu uzyskano równomierny rozkład temperatury na całej powierzchni materiału, który podgrzewany przez WE paruje na przygotowane podłoże.

EN

The articles present the method of deflection and modeling of an electron beam energy distribution in EB-PVD device that enables precise positioning of the beam on the scanning surface. Hence an even temperature distribution on the whole surface of the material is achieved. The material heated by the electron beam vaporizes on the prepared substrate.

Słowa kluczowe

PL

wiązka elektronów (WE); układ odchylania; rozkład energii WE; EB-PN/D

EN

electron beam (EB); deflection system; energy distribution of EB; EB-PVD

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 50, nr 1
• Strony: 76--79
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz.

Twórcy

autor

Kozłowski M.

autor

Sielanko W.

autor

Czopik A.

autor

Jędrzejczyk M.

autor

Olszewska K.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa

Bibliografia

• [1] http://www.paton-icebt.kiev.ua
• [2] Czopik A., Kozłowski M., Sielanko W., Olszewska K., Krawczyk S., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Kowalski J., Wójcicki S., Sobolewski A., Wronka H.: Sterowanie odchylaną pod dużymi kątami wysokoenergetyczną WE w zastosowaniu do urządzeń EB PVD, sprawozdanie wewnętrzne z realizacji pracy statutowej. PIE, 2007.
• [3] Sielanko W., Czopik A., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Krawczyk S., Kozłowski M.: Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB-PVD. Problemy Eksploatacji, 1/2007 S8. 137-144.