Interferometr multispektralny do pomiaru długości płytek wzorcowych klasy K

• Autorzy: Pakuła A. , Sałbut L. , Łukaszewski D. , Wengierow M.

Warianty tytułu

EN

Multispectral interferometer for length measurements of long gauge blocks class K

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiony niżej tekst opisuje problem pomiaru długości długich płytek wzorcowych klasy K, o długości do 1000 mm, przy wykorzystaniu interferometru multispektralnego. W artykule przedstawiono wymagania, założenia i koncepcję interferometru multispektralnego opartego na układzie Twymana-Greena z automatyczną analizą obrazów prążkowych, wykorzystującego promieniowanie o długości fali: λ₁ = 632,8 nm i λ₂ = 543 nm.

EN

The paper is dedicated to a problem of long gauge blocks, class K, length measurements. The main concept, requirements and asumptions concerning the multispectral interferometer based on the Twyman-Green setup with automatic fringe pattern analysis, working with the laser wavelengths λ₁= 632.8 nm and λ₂ = 543 nm were presented.

Słowa kluczowe

PL

płytki wzorcowe; pomiary długości; interferometria multispektralna; interferometr Twymana-Grena

EN

gauge blocks; length measurement; multispectral interferometry; Twyman-Green interferometer

• Wydawca: Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
• Czasopismo: Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
• Rocznik: 2009
• Tom: Vol. 58, nr 1
• Strony: 405--413
• Opis fizyczny: Bibliogr. 17 poz.

Twórcy

autor

Pakuła A.

autor

Sałbut L.

autor

Łukaszewski D.

autor

Wengierow M.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki, 02-525 Warszawa, ul. Św. A. Boboli 8

Bibliografia

• [1] K. Patorski, M. Kujawińska, L. Sałbut, Interferometria laserowa z automatyczną analizą obrazu, Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, Warszawa, 2005.
• [2] J. E. Decker, J. R. Pekelsky, Uncertainty evaluation for the measurement of gauge blocks by optical interferometry, Metrologia, 34, 1997, 479-493.
• [3] H. Haitjema, G. J. Kotte, Long gauge block measurements based on a Twyman - Green interferometer and three stabilized lasers, Proceedings of SPIE, 3477, 1998.
• [4] G. Bonsh, Automatic gauge block measurement by stepping interferometry with three laser wavelengths, Proceedings of SPIE, 4001, 2001.
• [5] E. Ikonen, K. Riski, Gauge - block Interferometer Based on One Stabilized Laser and a White-light Source, Metrologia, 30, 1993, 95-104.
• [6] D. Łukaszewski, L. Sałbut, Wpływ doboru długości fali na zakres pomiarowy interferometru multispektralnego, Metrologia wspomagana komputerowo, Waplewo, 2008.
• [7] M. Born, E. Wolf, Principles of Optics, 6th ed., Pergamon Press, New York, 1980.
• [8] J. E. B. Decker, J. R. Miles, A. A. Madej, R. F. Siemsen, K. J. Siemsen, S. de Bonth, K. Bustraan, S. Temple, J. R. Pekelsky, Increasing the range of unambiguity in step - height measurement with multiple - wavelength interferometry - application to absolute long gauge block measurement, Applied Optics, 42, 28, 2003, 5670-5678.
• [9] Polska Norma PN-EN ISO 3650:2000, Specyfikacja geometrii wyrobów (GPS). Wzorce długości. Płytki wzorcowe, Polski Komitet Normalizacyjny, sierpień 2000.
• [10] P. de Groot, Unusual techniques for absolute distance measurement, Optical Engineering, 40, 1, 2001, 28-32.
• [11] P. de Groot, Three wavelength optical measurement apparatus and method, United States Patent no. 5, 153, 669, United States Patent, 1992.
• [12] M. Wengierow, L. Sałbut, Numeryczna symulacja interferometru multispektralnego do pomiaru długości płytek, Metrologia Wspomagana Komputerowo, Waplewo, 2008.
• [13] Wyrażanie niepewności pomiaru. Przewodnik, Główny Urząd Miar, 1999.
• [14] D. W. Robinson, G. T. Reid, Interferogram Analysis: Digital Fringe Pattern Measurement Techniques, Institute of Physics Publ., Bristol and Philadelphia, 1993.
• [15] K. Patorski, A. Styk, L. Bruno, P. Szwaykowski, Tilt-shift terror detection In phase-shifting interferometry, Optics Express, 14, 12, 2006, 5232-5249.
• [16] K. P. Birch, M. J. Downs [NPL], An Updated Edlén Equation for the Refractive Index of Air, Metrologia, 30, 3, 1993, 155-162.
• [17] K. P. Birch, M. J. Downs [NPL], Letter to the Editor: Correction to the Updated Edlén Equation for the Refractive Index of Air, Metrologia, 31, 4, 1994, 315-316.