Spektrometr mas wyładowania jarzeniowego z analizatorem kwadrupolowym : budowa i parametry

• Autorzy: Kaczorek K. , Konarski P. , Marks J.

Warianty tytułu

EN

Glow discharge mass spectrometer based on quadrupole mass analyser : design and parameters

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono konstrukcję oraz parametry techniczne i metrologiczne spektrometru mas wyładowania jarzeniowego, opracowanego w Przemysłowym Instytucie Elektroniki. Spektrometr ten wyposażony jest w źródło wyładowania jarzeniowego oraz kwadrupolowy spektrometr mas (1...200 j.m.a.). Umożliwia szybką analizę ilościową metali i izolatorów; przeznaczony jest głównie do monitorowania składu wytwarzanych materiałów np. stali oraz stopów metali nieżelaznych z czułością do 1 ppm.

EN

The design of quadrupole based glow discharge mass spectrometer recently constructed in Industrial Institute of Electronics is presented. The analyser is equipped with glow discharge cell and quadrupole mass spectrometer (1...200 amu). It allows elemental quantitative analysis of metals, alloys and insulators with detection limits of 1 ppm. The construction is optimised for industrial applications mainly in metallurgy.

Słowa kluczowe

PL

analizator mas; wyładowanie jarzeniowe; analiza składu pierwiastkowego

EN

mass analyser; glow discharge; elemental analysis

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 48, nr 8
• Strony: 97--100
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr.

Twórcy

autor

Kaczorek K.

autor

Konarski P.

autor

Marks J.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

Bibliografia

• [1] Marks J., Kaczorek K., Konarski P., Sobolewski A.: Spektrometria mas wyładowania jarzeniowego - wykorzystanie kwadrupolowego spektrometru mas. Prace PIE, 152, ss. 51-62, 2005.
• [2] Konarski P., Ćwil M., Kaczorek K., Marks J.: Metody spektrometrii mas w zastosowaniu do badań materiałów. Elektronika 7, ss. 51-53, 2006.
• [3] Konarski P., Kaczorek K., Ćwil M., Marks J.: Quadrupole-based glow discharge mass spectrometer: Design and results compared to secondary ion mass spectrometry analyses. Vacuum, 81, pp. 1323-1327, 2007.
• [4] Kaczorek K., Konarski P., Marks J.: Laboratoryjny zestaw spektrometru mas wyładowania jarzeniowego. Problemy Eksploatacji, w druku, 2007.