Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
The experiment results of quartz resonators with bulk acoustic wave and with surface acoustic wave utilization as force and pressure sensors
Języki publikacji
Abstrakty
Przedstawiono wstępne wyniki badań możliwości wykorzystania rezonatorów kwarcowych jako czujników siły i ciśnienia. Czujniki kwarcowe są stosowane w wielu dziedzinach, jednak ich wykorzystanie nie jest masowe. Na przeszkodzie stoi ich cena oraz najczęściej delikatna konstrukcja. W prezentowanej pracy, poza dobrze już znanymi czujnikami z rezonatorami objętościowymi poddano badaniom czujniki wykorzystujące rezonatory na fali powierzchniowej. Główną zaletą takich rezonatorów jest ich stosunkowo prosta konstrukcja mechaniczna oraz fakt, że struktura rezonatora znajduje się tylko po jednej stronie płytki kwarcowej. Dzięki temu druga strona płytki może być poddawana działaniu czynników zewnętrznych bez groźby uszkodzenia rezonatora. Sam kwarc jako materiał czujnika posiada niewątpliwe zalety, jak np. doskonałe własności mechaniczne i wysoką odporność chemiczną. Można zatem spodziewać się, że czujniki takie będą mogły pracować w trudnych warunkach środowiskowych. W artykule przedstawiono dwa rozwiązania czujników siły z rezonatorami objętościowymi i powierzchniowymi oraz jedno rozwiązanie czujnika ciśnienia z rezonatorem z falą powierzchniową. Wyniki badań nie stanowią gotowego rozwiązania praktycznego czujników, ale wskazują kierunek dalszych prac i możliwości prezentowanych rozwiązań.
In the paper the preliminary results of investigation of pressure and force sensors on the basis of bulk acoustic wave (BAW) and surface acoustic wave( SAW ) quartz resonators were presented. Ouartz sensors are applied in many technical domains but not on large scale. The limitation is relatively high price and rather delicate construction. In the presented work not only well known BAW resonanator damage hazard. Ouartz as materiał represents very good mechanical and chemical properties. It can be expected that these sensors can correctly work in difficult environmental terms. In the paper there were presented two force sensors solutions (BAW and SAW) and one SAW pressure sensor solution. The investigation results are not ready for practical application, but they show the direction of further work and present possibilities of solutions already obtained.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
23--29
Opis fizyczny
Bibliogr. 6 poz., tab., wykr.
Twórcy
autor
- Pracownia Rezonatorów Kwantowych, Instytut Tele- i Radiotechniczny, Warszawa
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA9-0004-0062
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.