Próżniowe źródła łukowe

• Autorzy: Miernik K.

Warianty tytułu

EN

Vacuum are deposition sources

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono rozwój badań nad wyładowaniem łukowym w próżni z zimną katodą. Zaprezentowano pierwsze konstrukcje źródeł do łukowego osadzania powłok. Omówiono plamki katodowe, ich cechy charakterystyczne, ich rolę w podtrzymaniu wyładowania łukowego i powstawaniu fazy mikrokropelkowej oraz metody sterowania ich ruchem. Przedstawiono najczęściej stosowane sposoby inicjacji wyładowania łukowego. Dokonano klasyfikacji urządzeń łukowych, omówiono podstawowe konstrukcje katod źródeł łukowych, konstrukcje układów sterujących ruchem plamek katodowych oraz najczęściej stosowanych separatorów mikrokropli. Omówiono perspektywy rozwoju metody łukowego osadzania powłok odpornych na zużycie.

EN

The paper presents the development of research on the vacuum arc discharge with a cold cathode. The first constructions of vacuum are deposition sources were presented. The cathode spots, their characteristic features and their role in the are discharge and in the microdroplets-phase formation and their movement's steering methods were shown. The most often used in practice methods of are discharge initiation were described. The classification of the vacuum are devices was made. The basic constructions of the are sources cathodes, constructions of the cathode spots steering systems and the most often used microdroplets filters were shown. The development perspectives of the vacuum are deposition method of the antiwear coatings were presented.

Słowa kluczowe

PL

wyładowania; plamki katodowe; charakterystyka; klasyfikacja

EN

discharges; cathode spots; characteristic; classification

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 40, nr 4
• Strony: 5--16
• Opis fizyczny: Bibliogr. 42 poz., wykr.

Twórcy

autor

Miernik K.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom