Fabrication of ceramic-polymer microstructure for capillary electrophoresis with usage of photosensitive paste and thick film technology

• Autorzy: Wyżkiewicz I. , Lewandowska N. , Dziurdzia B. , Magoński Z. , Chudy M. , Brzózka Z. , Jakubowska M. , Dybko A.

Warianty tytułu

PL

Wytwarzanie ceramlczno-polimerowych struktur do elektroforezy kapilarnej przy użyciu pasty światłoczułej i technologii grubowarstwowej

• Konferencja: International Conference of IMAPS Poland Chapter (30 ; 24-27.09.2006 ; Kraków, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Fabrication of a ceramic-polymer hybrid structure with microchannel was accomplished. The structure for capillary electrophoresis is presented as an example system. The method of fabrication of such a structure is not complicated, makes use of well known technologies like thick film and photolithography, and commercially available materials. It could be used for manufacture of structures with different shapes and dimensions. The process relies on printing dielectric photosensitive paste onto a ceramic support, drying and exposing to UV light through a mask with suitable pattern, developing and firing. A thin glaze layer is deposited on the top of the structure in order to make possible reversible or irreversible bonding with transparent poly(dimethylsiloxane) (PDMS) and adapting this chip to measurements with the use of optical detection.

PL

Opracowano wytwarzanie ceramiczno-polimerowych struktur zawierających mikrokanał. Jako przykład zaprezentowano strukturę do elektroforezy kapilarnej. Metoda wytwarzania takich mikroukładów jest metodą prostą, wykorzystującą dobrze znane technologie, takie jak technologia grubowarstwowa czy fotolitografia i materiały komercyjnie dostępne. Może być wykorzystywana do wytwarzania struktur hybrydowych o różnej geometrii kanałów. Proces wytwarzania mikroukładów polega na nadrukowaniu światłoczułej pasty dielektrycznej na podłoże ceramiczne, wysuszeniu i naświetleniu przez fotomaskę z odpowiednim wzorem, wymyciu nienaświetlonej części warstwy i wypaleniu. Pokrycie struktury cienką warstwą szkliwiącą daje możliwość odwracalnego lub trwałego łączenia z transparentnym poli(dimetylosiloksanem) (POMS) i dostosowania takiego układu do pomiarów z detekcją optyczną.

Słowa kluczowe

EN

photoimageable process; thick film technology; hybrid microstructure

PL

proces fotoobrazowania; technologia grubowarstwowa; mikrostruktura hybrydowa

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 47, nr 12
• Strony: 9--10
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Wyżkiewicz I.

autor

Lewandowska N.

autor

Dziurdzia B.

autor

Magoński Z.

autor

Chudy M.

autor

Brzózka Z.

autor

Jakubowska M.

autor

Dybko A.

• Instytut technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa

Bibliografia

• [1] Kikutani Y., Horiuchi T., Uchiyama K., Hisamoto H., Tokeshi M., Kitamori T.: Glass microchip with three-dimensional microchannel network for 2 x 2 parallel synthesis. Lab Chip, 2 (2002), p. 188.
• [2] Ratner D. M., Murphy E. R., Jhunjhunwala M., Snyder D. A., Jensen K. F., Seeberger P. H.: Microreactor - based reaction optimisation in organic chemistry - glycosylation as a challenge. Chem. Commun., 2005, p. 578.
• [3] Huber R., Conrad J., Schmitt L., Hecker K., Scheurer J., Weber M.: Fabrication of multilevel silicon structures by anisotropic deep silicon etching. Microelectr. Engin., 67-68 (2003), p. 410.
• [4] Duffy D. C., Cooper McDonald J., Schueller O. J. A., Whitesides G. M.: Rapid prototyping of microfluidid system in PDMS. Anal. Chem., 70 (1998), p. 4974.
• [5] Becker H., Locascio L. E.: Polymer microfluidic devices. Talanta, 56 (2002), p. 267.
• [6] De Mello A. L: Plastic fantastic? Lab Chip, 2 (2002), 31N.
• [7] Henry Ch. S., Zhong M., Lunte S. M., Kim M., Bau H., Santiago J. J: Ceramic microchips for capillary electrophoresis - electrochemistry. Anal. Commun., 8 (1999), p. 305.
• [8] Knitter R., Göhring D., Risthaus P., Haußelt J.: Microfabrication of ceramic microreactors. Microsystem Techn., 7 (2001), p. 85.
• [9] Knitter R., Bauer W., Göhring D., Risthaus P.: RP process chains for ceramic microcomponents. Rapid Prototyping, 8 (2002), p. 76.
• [10] Dziurdzia B., Magoński Z., Nowak S., Cież M., Gregorczyk W., Niemyjski W.: Photoimageable thick-film microwave structures up to 18 GHz. Electron Techn.-Internet J., 36-1 (2004), 1.