Thermoelectric microgenerators made in mixed thick/thin film technology

• Autorzy: Markowski P. , Dziedzic A. , Prociów E.

Warianty tytułu

PL

Mikrogeneratory termoelektryczne wytwarzane w mieszanej technologii cienko/grubowarstwowej

• Konferencja: International Conference of IMAPS Poland Chapter (30 ; 24-27.09.2006 ; Kraków, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This paper presents fabrication and investigations of mixed thick/thin film thermocouples based on PdAg/Ge:W:Sb. Seebeck coefficient a and electrical output power P_OUT were measured with the help of automatic measuring system. Achieved results was P_OUT = 0.7 µW/junction and a = 250 µV/K when temperature difference was about 110 K. This results are better than results presented in previous authors works.

PL

Zaprezentowano proces wytwarzania oraz badania termopar mieszanych cienko/grubowarstwowych, zbudowanych z materiałów PdAg/Ge:W:Sb. Za pomocą zautomatyzowanego systemu pomiarowego mierzono współczynnik Seebecka oraz generowaną moc wyjściową P_OUT. Przy różnicy temperatur pomiędzy gorącym a zimnym końcem termopary, wynoszącej 110 K, osiągnięto maksymalną moc wyjściową na poziomie 0,7 µW/złącze oraz współczynnik Seebecka 250 µV/ K. Oznacza to znaczną poprawę parametrów wytworzonych struktur w stosunku do prezentowanych we wcześniejszych pracach.

Słowa kluczowe

EN

thick-film; thermoelectricity; microgenerator; thermocouple; thermopile

PL

warstwy grube; termoelektryczność; mikrogenerator; termopara; termostos

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 47, nr 12
• Strony: 7--8
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., wykr.

Twórcy

autor

Markowski P.

autor

Dziedzic A.

autor

Prociów E.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Wrocław

Bibliografia

• [1] Kuznetsov V. L., Kuznetsova L. A., Kaliazin A. E., Rowe D. M.: High performance functionally graded and segmented Bi2Te3-based materials for thermoelectric power generation. Journal of Materials Science, 37 (2002), pp. 2893-2897.
• [2] Wasnievski da Silva L., Kaviany M.: Fabrication and Measured Performance of a First-Generation Microthermoelectric Cooler. Journal of Microelectromechanical Systems, 14 (2005), pp. 1110-1117.
• [3] Berlicki T. M.: Heat dissipation in thin-film vacuum sensor. J. Vac. Sci. Technol. A, 19 (2001), pp. 325-328.
• [4] Smetana W., Reicher U. R.: Designing the performance of a thick-film laser power detector by means of a heat-transfer analysis using finite-element method. Sensors and Actuators A, 58 (1997), pp. 213-218.
• [5] Markowski P., Dziedzic A., Prociów E.: Thick/thin film thermocouples as power source for autonomous microsystems - preliminary results. Proceedings of 28th International Conference of IMAPS-Poland 2004, Wrocław, Sept. 2004, pp. 334-337.
• [6] Markowski P., Wójtowicz A., Dziedzic A.: The thermoelectric properties of thick-film composites-preliminary results, Proceedings of 29th International Conference of IMAPS-Poland 2005, Koszalin-Darłówko, Sept. 2005, pp. 389-392.