Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Ion implantation in III-V semiconductor technology. Part 2
Języki publikacji
Abstrakty
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
6--8
Opis fizyczny
Twórcy
autor
- Instytut Techniki Mikrosystemów, Politechnika Wrocławska, Wrocław, synowiec@wtm.ite.pwr.wroc.pl
Bibliografia
Uwagi
Literatura i streszczenie artykułu w j ęzyku polskim i angielskim zostały zamieszczone w nr 11/2001.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA9-0003-0074