Układ próżniowy urządzenia do epitaksji z wiązek molekularnych

• Autorzy: Cyrański R. , Marks J. , Kaufman E. , Sobolewski A. , Pastuszka B.

Warianty tytułu

EN

Vacuum system for molecular beam epitaxy

• Konferencja: II Kongres Towarzystwa Próżniowego ; 13-17.05.2001 ; Warszawa, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The construction of the MBE system for growth the semiconductor thin film in the high and ultra high vacuum conditions has been presented. This system consists of mainly technological and loading chambers with technical equipments for operation the epitaxy process. To the pumping of the chambers the turbomolecular with diaphram pumps and the ion pumps are used.

Słowa kluczowe

PL

układ próżniowy; metoda MBE; budowa urządzenia

EN

vacuum matches; MBE method; structure of fix-up

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2001
• Tom: Vol. 42, nr 8-9
• Strony: 102--103

Twórcy

autor

Cyrański R.

autor

Marks J.

autor

Kaufman E.

autor

Sobolewski A.

autor

Pastuszka B.

• Instytut Technologii Próżniowej, Warszawa,