Multiple-technique electron spectrometr for investigation of semiconductor surfaces and interfaces

• Autorzy: Szuber J. , Kościelniak P. , Kaszczyszyn S.

Warianty tytułu

PL

Wielozadaniowy spektrometr elektronowy do badań powierzchni półprzewodników

• Konferencja: II Kongres Towarzystwa Próżniowego ; 13-17.05.2001 ; Warszawa, Polska
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

In this paper a self-constructed multiple-technique electron spectrometer is described. It consists of the main analysis chamber connected with the preparation chamber via the gate valve and magnetically coupled sample transport system. It was mainly designed for study of III-V semiconductor surfaces with a special emphasis on various surface processing.

Słowa kluczowe

EN

analysis; electron spectrometer; description

PL

analiza; spektrometr elektronowy; badanie

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2001
• Tom: Vol. 42, nr 8-9
• Strony: 74--75
• Opis fizyczny: Bibliogr. 17 poz.

Twórcy

autor

Szuber J.

autor

Kościelniak P.

autor

Kaszczyszyn S.

• Department of Microelectronics, Silesian University of Technology, Gliwice, Poland,