Tytuł artykułu
Identyfikatory
Warianty tytułu
Reactive pulsed laser deposition with gas jet
Konferencja
II Kongres Towarzystwa Próżniowego ; 13-17.05.2001 ; Warszawa, Polska
Języki publikacji
Abstrakty
Different metal (Sn, Al., steel, Cu, W) thin films were synthesized by reactive pulsed laser deposition on steel, copper and glass wafers. In our work pulsed Nd:glass (10J, 800 us) laser system was used. Jet of gas was created by electromagnetic valve perpendicularly to the laser beam. Nitrogen, oxygene and argon were used. We used several to tens laser shots to obtain visible with the naked eye layers, dependent on metal used to form the layer. Thin layers were observed under an optical microscope.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
18--20
Opis fizyczny
Bibliogr. 3 poz., il., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
autor
- Instytut Optoelektroniki, Wojskowa Akademia Techniczna, Warszawa, laslab@ack.wat.edu.pl
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA9-0003-0014