Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Twin amorphous superlattice : deposition technology and properties
Konferencja
II Kongres Towarzystwa Próżniowego ; 13-17.05.2001 ; Warszawa, Polska
Języki publikacji
Abstrakty
Preliminary investigations on preparation, optical and electrical properties of superlattice structures composed of twin layers of an amorphous semiconductor (a-S) and an amorphous insulator (a-l) were performed. These structures were fabricated in an audio-frequency three-electrode plasma reactor as hydrogenated carbon-germanium films (a-GexCy:H) using as a precursor source the mixture of tetramethylgermanium and argon. The type of deposited material (a-l or a-S) was controlled by the coupling capacitance of the system. It has been proved, by means of ellipsometric measurements, that interfaces between a-l and a-S layers are very sharp and the superlattice structure is well defined. Both „blue shift" of the optical gap and changes of electrical conductivity were observed as a result of the superlattice geometry variation. It is, however, doubtful if these phenomena are connected with the quantum size effects.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
11--14
Opis fizyczny
Bibliogr. 18 poz., tab., wykr.
Twórcy
autor
- Wydział Inżynierii Procesowej i Ochrony Środowiska, Politechnika Łódzka, Łódź
autor
- Wydział Inżynierii Procesowej i Ochrony Środowiska, Politechnika Łódzka, Łódź
Bibliografia
- [1] L. L. Chang, B. C. Geissen (eds): Synthetic Modulated Structures. Academic Press, New York, 1985.
- [2] B. Abeles, T. Tiedje: Phys. Rev. Lett., 51 (1983) 2003.
- [3] T. Tiedje et al.: J. Non-Cryst. Solids, 66 (1984) 345.
- [4] J. Kakalios et al.: J. Non-Cryst. Solids, 66 (1984) 339.
- [5] T. Tiedje, B. Abeles, B. G. Brooks Phys. Rev. Lett., 54 (1985) 2545.
- [6] S. R. P. Silva et al.: J. Non-Cryst. Solids, 227-230 (1998) 1137.
- [7] C. A. Davis et al.: Phys. Rev. Lett. 75 (1995) 4258.
- [8] J. Tyczkowski et al.: Patent No. PL 196-688 (1996).
- [9] J. Tyczkowski, P. Kazimierski: J. Phys. D: Appl. Phys., 27 (1994) 179.
- [10] J. Tyczkowski, P. Kazimierski, H. Szymanowski: Thin Solid Films, 241 (1994) 291.
- [11] B. Pietrzyk, J. Tyczkowski: 4-5 Karbo (2000) 161.
- [12] N. Bernhard, H. Dittrich, G. Bauer. J. Non-Cryst. Solids, 137&138 (1991) 1103.
- [13] P. Kazimierski, J. Tyczkowski: Surf. Coat. Technol. 116-119 (1999) 614.
- [14] J. Tauc: in J. Tauc (ed.) Amorphous i Liquid Semiconductors, Plenum Press, London, 1974, Chap.4.
- [15] J. Tyczkowski, E. Odrobina: J. Non-Crystall Solids, 137&138 (1991) 875.
- [16] J. Tyczkowski, R. Ledzion: J. Appl. Phys., 86 No 8 (1999) 4412.
- [17] J. Tyczkowski, P. Kazimierski: Proc. 8th Inter. Symp. On Electrets. (Paris 1994), IEEE Srvice Center, Piscataway, USA 130.
- [18] P. Kazimierski, J. Tyczkowski: praca w przygotowaniu.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BWA9-0003-0012
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.