Bliźniacze amorficzne supersieci : wytwarzanie i właściwości

• Autorzy: Kazimierski P. , Tyczkowski J.

Warianty tytułu

EN

Twin amorphous superlattice : deposition technology and properties

• Konferencja: II Kongres Towarzystwa Próżniowego ; 13-17.05.2001 ; Warszawa, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

Preliminary investigations on preparation, optical and electrical properties of superlattice structures composed of twin layers of an amorphous semiconductor (a-S) and an amorphous insulator (a-l) were performed. These structures were fabricated in an audio-frequency three-electrode plasma reactor as hydrogenated carbon-germanium films (a-Ge_xC_y:H) using as a precursor source the mixture of tetramethylgermanium and argon. The type of deposited material (a-l or a-S) was controlled by the coupling capacitance of the system. It has been proved, by means of ellipsometric measurements, that interfaces between a-l and a-S layers are very sharp and the superlattice structure is well defined. Both „blue shift" of the optical gap and changes of electrical conductivity were observed as a result of the superlattice geometry variation. It is, however, doubtful if these phenomena are connected with the quantum size effects.

Słowa kluczowe

PL

wytwarzanie; bliźniacze amorficzne supersieci; właściwości

EN

receiving; twin amorphous superlattice; specificity

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2001
• Tom: Vol. 42, nr 8-9
• Strony: 11--14
• Opis fizyczny: Bibliogr. 18 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Kazimierski P.

autor

Tyczkowski J.

• Wydział Inżynierii Procesowej i Ochrony Środowiska, Politechnika Łódzka, Łódź,