Akceleratory plazmy urządzeń PAPVD

• Autorzy: Miernik K.

Warianty tytułu

EN

Plasma accelerators of PAPVD devices

• Konferencja: Techniki Jonowe. 7 Ogólnopolskie Seminarium ; 28.02-02.03.2001 ; Szklarska Poręba, Polska
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy dokonano przeglądu konstrukcji akceleratorów plazmy stosowanych w technologii osadzania cienkich powłok metodami PAPVD. Szczegółowo omówiono konstrukcje akceleratorów magnetoplazmo-dynamicznych, i dokonano ich klasyfikacji ze względu na kierunek ruchu generowanej przez nie plazmy. Omówiono perspektywy rozwoju tego typu akceleratorów plazmy.

EN

The paper presents the review of different constructions of plasma accelerators applied in technologies of thin coatings deposition by PAPVD methods. The constructions of magnetoplasmodynamic accelerators are discussed in detail and their classification, with respect to the direction of generated plasma movement, is presented. The perspectives of development of such accelerators are discussed.

Słowa kluczowe

PL

urządzenia PAPVD; zastosowanie; akceleratory plazmy

EN

PAPVD devices; employment; plasma accelerators

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2001
• Tom: Vol. 42, nr 7
• Strony: 18--21
• Opis fizyczny: Bibliogr. 28 poz.

Twórcy

autor

Miernik K.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom