Mikrosystemy zintegrowane w technologiach krzemowych

• Autorzy: Napieralski A.

Warianty tytułu

EN

Microsystems integrated in silicon technology

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule omówiono aktualny stan wiedzy dotyczący projektowania i wykonywania mikrosystemów scalonych. Szczególna uwaga zwrócona została na narzędzia komputerowego wspomagania takich układów i na problemy, jakie mogą wystpić w przypadku niewłaściwego podtrawienia struktur. W najbliższej przyszłości możliwe będzie wykonywanie w jednej monolitycznej płytce krzemu bardzo skomplikowanych mikrosystemów elektro-termo-mechaniczno-chemicznych. Powoduje to konieczność nowego podejścia do projektowania tych układów i rozwój języków typu VHDL-AMS. Klasyczne podejście stosowa­ne przy symulacji elektrotermicznej nie jest już wystarczające. W artykule przedstawiono kilka przykładów nowoczesnych przyrządów i rozważono wpływ zjawisk fizycznych na ich działanie. Przedstawiono również wyniki symmulacji tych układów wykonane przy zastosowaniu pakietu programów firmy CFDRC.

EN

In the paper the current state of the art in the field of design and manufacturing of silicon integrated microsystems is presented. The paricular attention has been paid to the CAD tools necessary for the design of such kind of devices and the problems resulting from imperfect etching of the silicon structure. In the nearest future it ewill be possible to make in the single silicon die a very complicatyed electro-thermo-mechano-chemical Microsystem. Therefore it is necessary to design these kinds of devices with the application of VHDL-AMS languages. The classical approach which is still used for the electrothermal simulation in no longer good enough. In the paper some examples of modern silicon Microsystems are given. The discussion of the influence of physical phenomena on their properties has been presented. Some results of the simulation of the Microsystems with the application of CFDRC software have been included.

Słowa kluczowe

PL

mikromaszyny; mikrosystemy; technologie krzemowe

EN

micromachines; microsystems; silicon technology

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2001
• Tom: Vol. 42, nr 4
• Strony: 3--11
• Opis fizyczny: Bibliogr. 36 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Napieralski A.

• Katedra Mikroelektroniki i Technik Informatycznych, Politechnika Łódzka, Łódź,