Rezystancja cienkich warstw roztworów stałych systemu LSCO

• Autorzy: Rydzewska S.

Warianty tytułu

EN

Resistivity of thin films LSCO compositions

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Tlenek lantanowo-strontowo-kobaltowy (La, Sr) CoO3 - LSCO jest roztworem stałym tlenku lantanowo-kobaltowego LCO i strontowo-kobaltowego SCO. Należy on do kompozycji o budowie krystalicznej typu perowskitu. W opracowaniu przedstawiono warstwy przewodzące LSCO wykonane technologią zol-żel, nanoszone metodą rozwirowania oraz syntezę związku, wykorzystującą szybką obróbkę cieplną (RTP - Rapid Thermal Processing). Przeprowadzona analiza badań zależności rezystancji warstw od zawartości strontu i lantanu w roztworze stałym wskazuje możliwości wykorzystania cienkich warstw roztworów stałych systemu LSCO.

EN

Lanthanum-strontium cobalt oxides (La, Sr) CoO3, also referred to as LSCO, are solid solutions of LaCoO3 - LCO and SrCoO3 - SCO. LSCO have perovskite-type structure. This paper presents manufacturing of lanthanum-strontium cobalt oxides LSCO in sol-gel process. Moreover it describes synthesis of LSCO achieved in the RTP (Rapid Thermal Procesing) proccess. The analysis shows that resistivity of LSCO thin films strongly depends from the amount of strontium and lanthanum in LSCO solid solutions. This test us take adventage of LSCO films in electronic applications.

Słowa kluczowe

PL

perowskit LSCO; rezystancja warstw LSCO

EN

perovskite LSCO; resistivity of thin films

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 4
• Strony: 9--12
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., wykr.

Twórcy

autor

Rydzewska S.

• Politechnika Gdańska, Katedra Optoelektroniki

Bibliografia

• 1. Łoziński A.: Ceramiczne ferroelektryki systemu PLZT do detekcji promieniowania temperaturowego. Publ. wewn., Politechnika Gdańska, Gdańsk 2000.
• 2. Jaffe B., Cook W., Jaffe H.: Piezoelectric ceramics. Acad. Press, New York 1971.
• 3. Ftikos Ch., Steele B. C. H..: Sr and Ni Effect in Doped LaCoO3 on the Phase Formation of the Perovskite-type Oxides. Journal of the European Ceramic Society 11, s. 263-267, 1993.
• 4. Moreau W. M.: Semiconductor litography. Plenum Press, New York 1988.
• 5. Guziński A.: Technologia układów warstwowych. WKiŁ, Warszawa 1971.
• 6. Smits F. M.: Measurements of Sheet Resistivity with the Four-Point Probe. BSTJ, 1958.