Trawienie fosforku indu w plaźmie chlorowej metodą ICP

• Autorzy: Ruta Ł. , Turała A. , Kalinowski A. , Fałkowski G. , Besland M.-P.

Warianty tytułu

EN

Etching of indium phosphide by ICP in Cl2 : based plasma

• Konferencja: Technologia elektronowa : ELTE' 2004 : konferencja naukowa (8 ; 19-22.04.2004 ; Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł zawiera opis przeprowadzonych badań w zakresie suchego trawienia fosforku indu (InP) metodą indukcyjnie sprzężonej plazmy (ICP) z zastosowaniem plazmy chlorowej (Cl₂ oraz Cl₂/GH₄/Ar).

EN

The article consist short description about experiments of dry etching of indium phosphide by inductively coupled plasma in Cl₂ based plasma.

Słowa kluczowe

PL

suche trawienie fosforku indu; metoda indukcyjnie sprzężonej plazmy

EN

dry etching of indium phosphide; inductively coupled plasma method

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 2-3
• Strony: 42--43
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., wykr.

Twórcy

autor

Ruta Ł.

• Instytut Elektroniki, Politechnika Łódzka

autor

Turała A.

• Instytut Elektroniki, Politechnika Łódzka

autor

Kalinowski A.

• Instytut Elektroniki, Politechnika Łódzka

autor

Fałkowski G.

• Instytut Elektroniki, Politechnika Łódzka

autor

Besland M.-P.

• LEOM Ecole Centrale de Lyon, Francja

Bibliografia

• [1] Daniel L. Flamm, G. Kenneth Herb: Plasma Etching Technology - An Overview, 2003.
• [2] Etrillard J., Heliot F., Ossart P., Juhel M., Patriarchę G., Carcenas P., Vieu C., Puech M., Makuin P.: Sidewall and surface induced damage comparison between reactive ion etching and inductive plasma etching of InP using a CH4/H2/O2 gas mixture. J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1056, 1996.
• [3] Turala A.: Dry etching of Indium Phosphide by inductively coupled plasma. Praca magisterska, Politechnika Łódzka, Ecole Centrale de Lyon, 2002.
• [4] Ruta Ł.: Dry etching of Indium Phosphide by inductively coupled plasma. Praca magisterska, Politechnika Łódzka, Ecole Centrale de Lyon, 2003.