Azotki, węgliki i węglikoazotki cyrkonu otrzymywane metodą platerowania jonowego

• Autorzy: Markowski J. , Wierny K.

Warianty tytułu

EN

Layers of zirconium nitrides, carbides and carbonitrides obtained by ion plating

• Konferencja: Technologia elektronowa : ELTE' 2004 : konferencja naukowa (8 ; 19-22.04.2004 ; Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Azotki, węgliki i węglikoazotki cyrkonu nanoszono metodą BARE (aktywowane, reaktywne naparowywanie z polaryzacją podłoży). Badano właściwości elektryczne, mechaniczne i strukturalne nanoszonych warstw. Stwierdzono istnienie silnej korelacji pomiędzy napięciem polaryzacji podłoży a twardością osadzanych warstw. Obserwacje mikroskopowe wykazały, że warstwy bardzo dobrze odwzorowują powierzchnię podłoża.

EN

Zirconium nitrides, carbides and carbonitrides layers were deposited by BARE method (Bias Activated Reactive Evaporation). Electrical, mechanical and structural properties of deposited layers were examined. Strong correlation between bias voltage and hardness of the layers was observed. SEM investigations, point on very good mapping between substrate and deposited layers surface.

Słowa kluczowe

PL

twarde warstwy; azotek cyrkonu; węgliki cyrkonu; węglikoazotki cyrkonu

EN

hard coating; zirconium nitrides; zirconium carbides; zirconium carbonitrides

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 2-3
• Strony: 38--39
• Opis fizyczny: Bibliogr. 1 poz., wykr.

Twórcy

autor

Markowski J.

• Politechnika Warszawska, Wydział Elektriniki Mikrosystemów i Fotoniki

autor

Wierny K.

• Politechnika Warszawska, Wydział Elektriniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• Markowski J., Prajzner A., Zdanowski J.: Mat. Sci. Eng., A139, (1991), 33.