Wpływ materiału przekładki na odporność na zarysowanie supersieci TiN/CrN

• Autorzy: Wrzesińska H. , Małyska K. , Rymuza Z. , Ratajczyk Ł.

Warianty tytułu

EN

The effect of underlayer material on scratch resistance of TiN/CrN superlattices

• Konferencja: Technologia elektronowa : ELTE' 2004 : konferencja naukowa (8 ; 19-22.04.2004 ; Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono wyniki testu nanozarysowania wykonanego dla supersieci TiN/CrN nałożonej na nanokryształ Si(100), pokryrty trzema różnymi warstwami: Si₃N₄ (PECVD), SiO₂ t (termiczny) i SiO₂p (PECVD) o grubości 200 nm. Najmniejszą głębokość zarysowania uzyskano dla podłoża Si/Si₃N₄. Te podłoża będą najlepsze dla przyszłych zastosowań supersieci TiN/CrN w ruchomych, ślizgowych skojarzeniach mikroelementów.

EN

In this paper we present the results of nanoscratch tests of the TiN/ /CrN superlattice deposited on the single-crystal Si(100) face covered by three different films, namely Si₃N₄ (PECVD), SiO₂ t (thermal oxide) and SiO₂ p (PECVD), 200 nm thick. We obtained the smallest scratch depth for Si/Si₃N₄ substrate. This substrate seems to be the best solution for the future applications of the TiN/ CrN superlattice in sliding contacts of microelements.

Słowa kluczowe

PL

supersieć TiN/CrN; nanozarysowanie; podłoże

EN

TiN/ CrN superlattice; nanoscratch; substrate

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2005
• Tom: Vol. 46, nr 2-3
• Strony: 10--13
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., wykr.

Twórcy

autor

Wrzesińska H.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

autor

Małyska K.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki

autor

Rymuza Z.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki

autor

Ratajczyk Ł.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki

Bibliografia

• 1. Bhushan B. (ed): Springer Handbook of Nanotechnology. Springer Verlag, Berlin 2004.
• 2. Bhushan В.: Introduction to Tribology. J. Wiley, New York, 2002.
• 3. Bhushan B. (ed): Handbook of Micro/Nanotribology. 2nd ed., CRC Press, Boca Raton, 1998.
• 4. Burakowski T., Wierzchoń T.: Surface Engineering of Metals: Principles, Equipment, Technologies, CRC Press, Boca Raton, 1998.
• 5. Larsson M., Bromark M., Hendenqvist P., Hogmark S.: Surface Coatings Technology vol. 86-87, pp. 43-49, 1996.
• 6. Wrzesińska H., Rymuza Z., Matyska K.: Proceedings of XXVI Szkoła Tribologiczna pp. 197-211,16-19 September 2003, Niedzica, Poland.
• 7. Wyrobek J.T., Matyska K., Wrzesińska H., Rymuza Z.: Zeitschrift fur Metallkunde, vol. 95, pp. 320-325, 2004.