Active microelements testing by interferometer using pulse microlaser

• Autorzy: Sałbut L. , Styk A.

Warianty tytułu

PL

Badania mikroelementów aktywnych z wykorzystaniem interferometru z mikrolaserem impulsowym

• Konferencja: International Conference Mechatronics 2004 (5 ; 23-25.09.2004 ; Warsaw, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Increasing applications of active microelements (incl. micromembranes and micromirrors) introduce unprecedented requirements concerning their design and testing. The paper presents a concept of optical measurement system and methodology for out-of-plane displacement testing of such active microelements. The system is based on Twyman-Green microinterferometer working with a pulse microlaser. It gives the possibility to combine capabilities of stroboscopic and pulse interferometry methods for determination of dynamic behaviour of active microelements, especially vibration amplitude and phase analysis. In the paper special attention is given to the problem of influence of microlaser pulse parameters on the testing capabilities of the interferometric system. The exemplary results of measurements performed on micromembrane with active PZT layer and micromirror activated electrostatically are presented.

PL

Rosnący zakres zastosowań mikroelementów aktywnych (m.in. mikromembran i mikrozwierciadeł) powoduje wzrost wymagań dotyczących ich konstruowania i badań. W artykule prezentowany jest interferometryczny system pomiarowy oraz metodyka badań przemieszczeń pozapłaszczyznowych mikroelementów. System bazuje na konfiguracji Twymana-Greena z wykorzystaniem mikrolasera impulsowego. Stwarza to możliwość zastosowania technik stroboskopowych i impulsowych do badania amplitudy i fazy drgających mikroelementów aktywnych. Dużą uwagę poświęcono analizie wpływu parametrów impulsu na wynik pomiaru. Przedstawiono przykładowe wyniki badań mikromembrany z aktywną warstwą PZT oraz mikrozwierciadła pobudzanego elektrostatycznie.

Słowa kluczowe

EN

optical methods of testing; microinterferometry; microelements; vibration analysis

PL

optyczne metody badań; mikrointerferometria; mikroelementy; analiza wibracji

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2004
• Tom: Vol. 45, nr 8-9
• Strony: 233--236
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il.

Twórcy

autor

Sałbut L.

• Warsaw University of Technology, Institute of Micromechanics and Photonics, Poland

autor

Styk A.

• Warsaw University of Technology, Institute of Micromechanics and Photonics, Poland

Bibliografia

• 1. Kujawińska M., Garecki C.: New challenges and approaches to interferometric MEMS and MOEMS testing, Proc. SPIE, v. 4900, pp. 809-823, 2002.
• 2. Cloud G.: Optical methods in engineering analysis, Cambridge University Press, Cambridge, 1995.
• 3. Petitgrand S., Yahiaoui R., Danaie K., Bosseboeuf A., Gilles J. P.: 3D measurement of micromechanical devices vibration made shapes with a stroboscopic interferometric microscope, Optics and Lasers in Engineering, 36, pp. 77-101, 2001.
• 4. Sałbut L., Patorski K., Józwik M., Kacperski J., Gorecki, Jacobelli A., Dean T.: Active micro-elements testing by interferometry using time-average and quasi-stroboscopic techniques, Proc. SPIE, v. 5145 , pp. 23-32, 2003.
• 5. Petitgrand S., Bosseboeuf A.: Simultaneous mapping of phase and amplitude of MEMS vibrations with stroboscopic illumination, Proc. SPIE, v. 5145, pp. 33-44, 2003.
• 6. Huntley J. M.: Automated fringe pattern analysis in experimental mechanics: a review, Journal of Strain Analysis, v. 33, (1998) 105-125.