Experimental studies of miniature tilt sensors

• Autorzy: Łuczak S.

Warianty tytułu

PL

Badania miniaturowych czujników odchylenia od pionu

• Konferencja: International Conference Mechatronics 2004 (5 ; 23-25.09.2004 ; Warsaw, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The paper deals with a problem of experimental studies of miniature tilt sensors. There is discussed a methodology of performing such studies, metrological parameters characterising operation of the till sensors are proposed, and conclusions from the tests performed on various models of the sensors are presented.

PL

Artykuł dotyczy problemu badań doświadczalnych miniaturowych czujników odchylenia od pionu. Omówiono metodologię prowadzenia takich badań, zaproponowano parametry metrologiczne charakteryzujące działanie takiego czujnika, a także przedstawiono wnioski z badań przeprowadzonych na różnych jego modelach.

Słowa kluczowe

EN

tilt sensor; methodologies; experimental studies; accelerometer; MEMS

PL

czujnik odchylenia od pionu; metodyka; badania doświadczalne; akcelerometr; MEMS

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2004
• Tom: Vol. 45, nr 8-9
• Strony: 215--218
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz

Twórcy

autor

Łuczak S.

• Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, Poland

Bibliografia

• 1. Acar C., Shkel A. : Experimental evaluation and comparative analysis of commercial variable-capacitance MEMS accelerometers. Journal of Micromechanics and Microengineering, No. 13, 2003, p. 634-645.
• 2. Chen H., Bao M., Zhu H. , Shen S.: A piezoresistive accelerometer with a novel vertical beam structure. Elsevier. Sensors & Actuators, A-Physical, Vol. A 63, Switzerland 1997, p. 19-25.
• 3. Dobosz M.: Wspomagana komputerowo statystyczna analiza wyników badań. AOW EXIT, Warsaw 2001 , p. 181 , 233, 247-249.
• 4. Knapp G. S., You H., Holzhausen G. R.: On the use of electronic tilt sensors as angle encoders for synchrotron applications. Review of Scientific lnstruments, Vol. 66, No 2, Pt. 2, p. 1712-1714.
• 5. Łuczak S.: Standard MEMS Accelerometer as a Dual-Axis Tilt Sensor. Proc. of the conference 47 lnternationales Wissenschaftliches Kolloquim, llmenau 2002, p. 244-245, CD ROM.
• 6. Łuczak S., BeiBner S., Buttgenbach S.: Tilt Sensor Based on a 3-AXiS MEMS Accelerometer. Proc. of the conference Automation 2003, Warsaw 2003, p. 271-280.
• 7. Łuczak S.: Tensometryczny czujnik odchylenia od pionu. Pomiary, Automatyka, Robotyka, No 12/2003, Warsaw 2003, p. 12-14.
• 8. Łuczak S.: Test Station for Studying Miniature Tilt Sensors. Proc. of the conference International Conference Mechatronics 2000, Warsaw 2000, Vol. 1, p. 253-256.
• 9. Wyrażanie niepewności pomiaru. Przewodnik. Główny Urząd Miar, Warsaw 1999, p. 112-113.