Porównanie wpływu strumienia wstecznego na generowaną koncentrację gazu w systemie wzorca IMGC, wyznaczonego na drodze pomiaru i symulacji Monte-Carlo

• Autorzy: Calcatelli A. , Niwiński M. , Szwemin P.

Warianty tytułu

EN

Comparison of measurements and mc computations of the backstream effect in the IMGC vacuum standard

• Konferencja: Konferencja "Technologia Elektronowa" ELTE '2004 (8 ; 19-22.04.2004, Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Metoda Monte-Carlo jest często stosowana do wyznaczania parametrów stanu gazu w systemach wzorców próżni. W pracy podjęto próbę weryfikacji założeń modelu symulacyjnego przy wykorzystaniu zestawienia wyników otrzymanych na drodze symulacji i pomiaru. Wyniki różnią się od siebie na poziomie 2x10⁻³, co potwierdza tezę o poprawności przyjętego modelu rozpraszania cząsteczek gazu na powierzchni ścian układu kalibracyjnego.

EN

The parameters of the gas state are often determined by the means of Monte-Carlo simulation. The main aim of this work was to verify the assumptions of simulation model by comparison the results obtained by measurement to the results of computations. The results obtained by experimental method and by simulation are in agreement wihin the 2x10⁻³. From this fact, we can conclude that the assumption of cosine law (which describes the scattering process) is reasonable.

Słowa kluczowe

PL

symulacja Monte Carlo; systemy wzorców wysokich próżni

EN

Monte Carlo simulation; high vacuum standards

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2004
• Tom: Vol. 45, nr 10
• Strony: 37--38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz.

Twórcy

autor

Calcatelli A.

• Instituto di Metrologia G. Colonnetti, Torino, Italy

autor

Niwiński M.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

autor

Szwemin P.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Bibliografia

• [1] ISO/DIS 3570/1, 1975; DIN 28416, 1976.
• [2] IMGC Technical Reports: no 36 Turin June 2000, no 68 January 2002.
• [3] Szwemin P.: Prace Naukowe PW, seria Elektronika z. 143: 33-44, 2002.
• [4] Jitschin W., Reich G.: J. Vac. Sci. Technol. A9: 2752-56, 1991.