Zastosowanie metody LBIC do badania detektorów AlGaN MSM

• Autorzy: Paszkiewicz B. , Szyszka A.

Warianty tytułu

EN

Application of the light beam induced current method to the AlGaN MSM characterization

• Konferencja: Konferencja "Technologia Elektronowa" ELTE '2004 (8 ; 19-22.04.2004, Stare Jabłonki, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Technika LBIC (Light Beam Induced Current) została zastosowana do charakteryzacji testowych struktur detektorów MSM wykonanych na warstwie AlGaN. Zauważono niejednorodności generowanego fotoprądu nie wynikające z morfologii powierzchni. Przeprowadzone pomiary pozwoliły na oszacowanie odległości rzędu ułamków mikrometrów, którą przebywają nośniki w polu elektrycznym w warstwie zubożonej AlGaN. Zastosowanie metody LBIC umożliwiło ocenę jakości warstw zastosowanych do wytwarzania detektorów AlGaN MSM.

EN

Light Beam Induced Current (LBIC) technique was used for investigation of AlGaN MSM test structures. The obtained results were correlated with device morphology obtained by scanning electron microscopy. This allowed us to investigate influence of MSM structure fabrication process on electronic transport in the thin epitaxial layer.

Słowa kluczowe

PL

LBIC; AlGaN MSM; fotoprąd

EN

AlGaN MSM; light beam induced current

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2004
• Tom: Vol. 45, nr 10
• Strony: 31--32
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz.

Twórcy

autor

Paszkiewicz B.

autor

Szyszka A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Bibliografia

• [1] Musca C. A. Redfern D.A.: Laser beam induced current, Microelecronics Journal, 31, 2000, 537.
• [2] Paszkiewicz B., Romanowski A., Paszkiewicz R., Panek M., Ściana B., Tłaczała M., Andrzejewski P.: SPIE Proceedings, 2780, 1995, 149.